3 Zoll héichreine (ondotéiert) Siliziumcarbidwaferen hallefisoléierend Sic-Substrater (HPSl)
Eegeschaften
1. Physikalesch a strukturell Eegeschaften
●Materialtyp: Héichreinheets- (ondotéiert) Siliziumcarbid (SiC)
●Duerchmiesser: 76,2 mm (3 Zoll)
● Déckt: 0,33-0,5 mm, personaliséierbar jee no Ufuerderunge vun der Uwendung.
● Kristallstruktur: 4H-SiC Polytyp mat engem hexagonale Gitter, bekannt fir héich Elektronemobilitéit a thermesch Stabilitéit.
●Orientéierung:
oStandard: [0001] (C-Fläch), gëeegent fir eng breet Palette vun Uwendungen.
oOptional: Off-axis (4° oder 8° Neigung) fir verbessert epitaktesch Wuesstem vun den Apparatschichten.
●Flaachheet: Total Décktvariatioun (TTV) ●Uewerflächenqualitéit:
oPoléiert op oDichte mat gerénger Defekt (<10/cm² Mikropäifdicht). 2. Elektresch Eegeschaften ●Widerstand: >109^99 Ω·cm, erhale duerch d'Eliminatioun vun bewossten Dotierungen.
●Dielektresch Stäerkt: Héichspannungsausdauer mat minimale dielektresche Verloschter, ideal fir Uwendungen mat héijer Leeschtung.
● Wärmeleitfäegkeet: 3,5-4,9 W/cm·K, wat eng effektiv Hëtztofleedung an Héichleistungsgeräter erméiglecht.
3. Thermesch a mechanesch Eegeschaften
● Breet Bandlück: 3,26 eV, ënnerstëtzt de Betrib ënner héijer Spannung, héijer Temperatur a bei héijer Stralung.
●Häert: Mohs-Skala 9, déi Robustheet géint mechanesche Verschleiung während der Veraarbechtung garantéiert.
● Thermeschen Ausdehnungskoeffizient: 4,2 × 10−6 / K ≤ 4,2 × 10−6 / K ≤ 4,2 × 10−6 / K, wat d'Dimensiounsstabilitéit bei Temperaturschwankungen garantéiert.
Parameter | Produktiounsgrad | Fuerschungsgrad | Dummy-Klass | Eenheet |
Grad | Produktiounsgrad | Fuerschungsgrad | Dummy-Klass | |
Duerchmiesser | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Déckt | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Orientéierung | Op der Achs: <0001> ± 0,5° | Op der Achs: <0001> ± 2,0° | Op der Achs: <0001> ± 2,0° | Grad |
Mikropäifdicht (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Elektresch Widderstand | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dotéierungsmëttel | Ondotéiert | Ondotéiert | Ondotéiert | |
Primär flaach Orientéierung | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | Grad |
Primär flaach Längt | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Sekundär flaach Längt | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Sekundär flaach Orientéierung | 90° rechts vun der primärer Fläch ± 5,0° | 90° rechts vun der primärer Fläch ± 5,0° | 90° rechts vun der primärer Fläch ± 5,0° | Grad |
Randausgrenzung | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Béi/Verzerrung | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Uewerflächenrauheet | Si-Fläch: CMP, C-Fläch: Poléiert | Si-Fläch: CMP, C-Fläch: Poléiert | Si-Fläch: CMP, C-Fläch: Poléiert | |
Rëss (Héichintensivt Liicht) | Keen | Keen | Keen | |
Sechseckplacken (Héichintensivt Liicht) | Keen | Keen | Kumulativ Fläch 10% | % |
Polytypberäicher (Héichintensivt Liicht) | Kumulativ Fläch 5% | Kumulativ Fläch 20% | Kumulativ Fläch 30% | % |
Kratzer (Héichintensivt Liicht) | ≤ 5 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 150 | ≤ 10 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 200 | ≤ 10 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 200 | mm |
Kantenabschnitzen | Keen ≥ 0,5 mm Breet/Déift | 2 erlaabt ≤ 1 mm Breet/Déift | 5 erlaabt ≤ 5 mm Breet/Déift | mm |
Uewerflächenkontaminatioun | Keen | Keen | Keen |
Uwendungen
1. Leeschtungselektronik
Déi grouss Bandlück an déi héich Wärmeleitfäegkeet vun HPSI SiC-Substrater maachen se ideal fir Energieversuergungsapparater, déi ënner extremen Bedéngungen funktionéieren, wéi zum Beispill:
● Héichspannungsgeräter: Inklusiv MOSFETs, IGBTs a Schottky-Barrièredioden (SBDs) fir effizient Energiekonversioun.
● Erneierbar Energiesystemer: Wéi zum Beispill Solarinverter a Wandturbinnencontroller.
●Elektroautoen (EVs): Ginn an Inverter, Ladegeräter an Undriffssystemer benotzt fir d'Effizienz ze verbesseren an d'Gréisst ze reduzéieren.
2. RF- a Mikrowellenapplikatiounen
Déi héich Widderstandsfäegkeet an déi niddreg dielektresch Verloschter vun HPSI-Waferen si wesentlech fir Radiofrequenz- (RF) a Mikrowellensystemer, dorënner:
●Telekommunikatiounsinfrastruktur: Basisstatiounen fir 5G-Netzwierker a Satellittekommunikatioun.
● Loft- a Raumfaart a Verdeedegung: Radarsystemer, Phased-Array-Antennen an Avionikkomponenten.
3. Optoelektronik
D'Transparenz an déi breet Bandlück vu 4H-SiC erméiglechen seng Notzung an optoelektroneschen Apparater, wéi zum Beispill:
● UV-Fotodetektoren: Fir Ëmweltiwwerwaachung a medizinesch Diagnostik.
●Héichleistungs-LEDs: Ënnerstëtzung vu Festkierperbeliichtungsystemer.
●Laserdioden: Fir industriell an medizinesch Uwendungen.
4. Fuerschung an Entwécklung
HPSI SiC-Substrater gi wäit verbreet an akademeschen an industriellen Fuerschungs- a Entwécklungslaboratoiren benotzt fir fortgeschratt Materialeegeschaften an d'Fabrikatioun vun Apparater z'ënnersichen, dorënner:
●Epitaxial Schichtwuesstum: Studien iwwer Defektreduktioun an Schichtoptimiséierung.
●Carrier Mobility Studies: Ënnersichung vum Elektronen- a Lächertransport a Materialien mat héijer Rengheet.
●Prototyping: Éischt Entwécklung vun neien Apparater a Schaltungen.
Virdeeler
Iewescht Qualitéit:
Héich Rengheet a geréng Defektdicht bidden eng zouverlässeg Plattform fir fortgeschratt Uwendungen.
Thermesch Stabilitéit:
Excellent Wärmeableitungseigenschaften erlaben et Apparater, effizient ënner héijen Leeschtungs- a Temperaturbedingungen ze funktionéieren.
Breet Kompatibilitéit:
Verfügbar Orientéierungen an individuell Décktoptiounen garantéieren eng Adaptatioun fir verschidden Apparatufuerderungen.
Haltbarkeet:
Aussergewéinlech Häert a strukturell Stabilitéit miniméieren Verschleiung an Deformatioun während der Veraarbechtung an dem Betrib.
Vielfältegkeet:
Gëeegent fir eng breet Palette vun Industrien, vun erneierbarer Energie bis zur Loft- a Raumfaart an Telekommunikatioun.
Conclusioun
De 3-Zoll héichreinege semi-isoléierende Siliziumkarbid-Wafer stellt de Spëtzepunkt vun der Substrattechnologie fir Héichleistungs-, Héichfrequenz- an optoelektronesch Geräter duer. Seng Kombinatioun vun exzellenten thermeschen, elektreschen a mechaneschen Eegeschafte garantéiert eng zouverlässeg Leeschtung a schwieregen Ëmfeld. Vun der Leeschtungselektronik an HF-Systemer bis hin zu Optoelektronik an fortgeschratt Fuerschung an Entwécklung, dës HPSI-Substrater bilden d'Grondlag fir d'Innovatioune vu muer.
Fir méi Informatiounen oder fir eng Bestellung ze maachen, kontaktéiert eis w.e.g. Eis technesch Equipe steet Iech zur Verfügung fir Berodung a personaliséiert Optiounen op Är Besoinen zouzeweisen.
Detailéiert Diagramm



