SiC Substrat 3 Zoll 350um Dicke HPSI Typ Prime Grade Dummy Grad
Eegeschaften
Parameter | Produktioun Grad | Fuerschung Grad | Dummy Grad | Eenheet |
Grad | Produktioun Grad | Fuerschung Grad | Dummy Grad | |
Duerchmiesser | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Dicke | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Orientatioun | Op-Achs: <0001> ± 0,5° | Op-Achs: <0001> ± 2,0° | Op-Achs: <0001> ± 2,0° | Grad |
Mikropipe Density (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm-2^-2-2 |
Elektresch Resistivitéit | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Ongedopt | Ongedopt | Ongedopt | |
Primär flaach Orientéierung | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | Grad |
Primär flaach Längt | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Sekundär flaach Längt | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Secondary Flat Orientation | 90° CW vun der Primärfläch ± 5,0° | 90° CW vun der Primärfläch ± 5,0° | 90° CW vun der Primärfläch ± 5,0° | Grad |
Rand Ausgrenzung | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5 / 15 / ± 40 / 45 | µm |
Uewerfläch Roughness | Si-Gesiicht: CMP, C-Gesiicht: poléiert | Si-Gesiicht: CMP, C-Gesiicht: poléiert | Si-Gesiicht: CMP, C-Gesiicht: poléiert | |
Cracks (Héichintensitéit Liicht) | Keen | Keen | Keen | |
Hex Placke (Héichintensitéit Liicht) | Keen | Keen | Kumulativ Fläch 10% | % |
Polytype Beräicher (Héich-Intensitéit Liicht) | Kumulativ Fläch 5% | Kumulativ Fläch 20% | Kumulativ Fläch 30% | % |
Kratzer (Héichintensitéit Liicht) | ≤ 5 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 150 | ≤ 10 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 200 | ≤ 10 Kratzer, kumulativ Längt ≤ 200 | mm |
Rand Chipping | Keen ≥ 0,5 mm Breet / Déift | 2 erlaabt ≤ 1 mm Breet / Déift | 5 erlaabt ≤ 5 mm Breet / Déift | mm |
Uewerfläch Kontaminatioun | Keen | Keen | Keen |
Uwendungen
1. High-Power Electronics
Déi super thermesch Konduktivitéit a breet Bandgap vu SiC Wafere maachen se ideal fir héichkraaft, héichfrequenz Geräter:
●MOSFETs an IGBTs fir Muecht Konversioun.
● Fortgeschratt elektresch Gefierer Kraaftsystemer, dorënner Inverter a Ladegeräter.
●Smart Grid Infrastruktur an erneierbar Energiesystemer.
2. RF a Mikrowellensystemer
SiC Substrate erméiglechen héichfrequenz RF a Mikrowellenapplikatiounen mat minimalem Signalverloscht:
●Telekommunikatioun a Satellitesystemer.
● Raumfaartradarsystemer.
● Fortgeschratt 5G Netzwierk Komponenten.
3. Optoelektronik a Sensoren
Déi eenzegaarteg Eegeschafte vu SiC ënnerstëtzen eng Vielfalt vun optoelektroneschen Uwendungen:
●UV Detektoren fir Ëmweltiwwerwaachung an industriell Sensing.
●LED a Laser Substrate fir Solid-State Beliichtung a Präzisiounsinstrumenter.
●Héichtemperatursensoren fir Raumfaart- an Autosindustrie.
4. Fuerschung an Entwécklung
D'Diversitéit vu Graden (Produktioun, Fuerschung, Dummy) erméiglecht Spëtzekandidat Experimenter an Apparat Prototyping an der Akademie an der Industrie.
Virdeeler
● Zouverlässegkeet:Exzellent Resistenz a Stabilitéit iwwer Graden.
● Personnalisatioun:Mooss Orientatiounen an Dicken fir verschidde Besoinen ze passen.
● Héich Puritéit:Undoped Zesummesetzung suergt fir minimale Gëftstoffer-Zesummenhang Variatiounen.
● Skalierbarkeet:Entsprécht den Ufuerderunge vu Masseproduktioun an experimenteller Fuerschung.
Déi 3-Zoll High-Purity SiC Wafere sinn Äre Paart op héich performant Geräter an innovativ technologesch Fortschrëtter. Fir Ufroen an detailléiert Spezifikatioune, kontaktéiert eis haut.
Resumé
Déi 3-Zoll High Purity Silicon Carbide (SiC) Wafers, verfügbar a Produktioun, Fuerschung an Dummy Graden, sinn Premium Substrate fir High-Power Elektronik, RF / Mikrowellesystemer, Optoelektronik a fortgeschratt R&D entwéckelt. Dës Wafere weisen ondopt, semi-isoléierend Eegeschafte mat exzellenter Resistivitéit (≥1E10 Ω·cm fir Produktiounsgrad), gerénger Mikropipe Dicht (≤1 cm−2^-2−2), an aussergewéinlech Uewerflächqualitéit. Si sinn optimiséiert fir High-Performance Uwendungen, dorënner Kraaftkonversioun, Telekommunikatioun, UV Sensing, an LED Technologien. Mat personaliséierbaren Orientéierungen, super thermescher Konduktivitéit a robuste mechanesche Properties, erméiglechen dës SiC Wafere effizient, zouverléisseg Geräterfabrizéierung an banebriechend Innovatiounen an den Industrien.