Dia300x1.0mmt Thickness Saphir Wafer C-Plane SSP/DSP
Aféierung vun wafer Këscht
Kristallmaterialien | 99,999% vun Al2O3, Héich Puritéit, Monokristallin, Al2O3 | |||
Crystal Qualitéit | Inklusiounen, Blockmarken, Zwillinge, Faarf, Mikro-Bubbles a Dispersiounszentren sinn net existéierend | |||
Duerchmiesser | 2 zoll | 3 zoll | 4 zoll | 6 Zoll ~ 12 Zoll |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | Am Aklang mat de Bestëmmunge vun der Norm Produktioun | |
Dicke | 430 ± 15 µm | 550 ± 15 µm | 650 ± 20 µm | Kann vum Client personaliséiert ginn |
Orientéierung | C-Fliger (0001) bis M-Fliger (1-100) oder A-Fliger (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-Fliger (1-1 0 2), A-Fliger (1 1-2 0), M-Fliger (1-1 0 0), All Orientéierung, All Wénkel | |||
Primär flaach Längt | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | Am Aklang mat de Bestëmmunge vun der Norm Produktioun |
Primär flaach Orientatioun | A-Fliger (1 1-2 0) ± 0,2 ° | |||
TTV | ≤10 µm | ≤15µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
LTV | ≤10 µm | ≤15µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR | ≤10 µm | ≤15µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
BOU | ≤10 µm | ≤15µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Warp | ≤10 µm | ≤15µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Front Uewerfläch | Epi-poléiert (Ra<0.2nm) |
*Bow: D'Ofwäichung vum Mëttelpunkt vun der Medianfläch vun enger fräier, ongeklemmter Wafer vun der Referenzfläch, wou d'Referenzfläch vun den dräi Ecker vun engem equilateralen Dräieck definéiert ass.
* Warp: D'Differenz tëscht dem Maximum an de Minimum Distanzen vun der median Uewerfläch vun engem fräi, un-clamped wafer aus der Referenz Fliger uewen definéiert.
Héichqualitativ Produkter a Servicer fir d'nächst Generatioun Hallefleitgeräter an epitaxial Wuesstum:
Héich Flaachheetsgrad (kontrolléiert TTV, Bogen, Warp etc.)
Héich Qualitéitsreinigung (niddereg Partikelkontaminatioun, geréng Metallkontaminatioun)
Substratbohren, Grooven, Ausschneiden, a Réckpoléieren
Befestegung vun Daten wéi Propretéit a Form vum Substrat (optional)
Wann Dir e Besoin fir Saphir Substrater hutt, fillt Iech gratis ze kontaktéieren:
mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Mir kommen sou séier wéi méiglech zréck!