Dia300x1.0mmt Déckt Saphir Wafer C-Plane SSP/DSP
Aféierung vun der Waferbox
Kristallmaterialien | 99,999% vun Al2O3, héich Rengheet, monokristallin, Al2O3 | |||
Kristallqualitéit | Inklusiounen, Blockmarken, Zwillingen, Faarf, Mikroblosen a Verdeelungszentren existéieren net. | |||
Duerchmiesser | 2 Zoll | 3 Zoll | 4 Zoll | 6 Zoll ~ 12 Zoll |
50,8± 0,1mm | 76,2±0,2mm | 100±0,3mm | Am Aklang mat de Bestëmmunge vun der Standardproduktioun | |
Déckt | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Kann vum Client personaliséiert ginn |
Orientéierung | C-Fläch (0001) op M-Fläch (1-100) oder A-Fläch (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° / 0,3 ± 0,1°, R-Fläch (1-1 0 2), A-Fläch (1 1-2 0), M-Fläch (1-1 0 0), All Orientéierung, All Wénkel | |||
Primär flaach Längt | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5±1,5 mm | Am Aklang mat de Bestëmmunge vun der Standardproduktioun |
Primär flaach Orientéierung | A-Fläch (11-20) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BOU | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Ketten | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Frontfläch | Epi-Poléiert (Ra< 0,2nm) |
*Béi: D'Ofwäichung vum Mëttelpunkt vun der Medianuewerfläch vun engem fräien, net festgeklemmte Wafer vun der Referenzfläch, wou d'Referenzfläch duerch déi dräi Ecker vun engem gläichsäitegen Dräieck definéiert ass.
*Verzerrung: Den Ënnerscheed tëscht dem maximalen an dem minimalen Ofstand vun der mëttlerer Uewerfläch vun engem fräien, net festgeklemmte Wafer vun der uewe definéierter Referenzfläch.
Héichqualitativ Produkter a Servicer fir Hallefleederkomponenten vun der nächster Generatioun a fir epitaktesch Wuesstem:
Héije Grad u Flaachheet (kontrolléiert TTV, Bou, Ketten etc.)
Héichqualitativ Reinigung (gering Partikelkontaminatioun, gering Metallkontaminatioun)
Substratbueren, Nuten, Schnëtt a Réckspoléieren
Uschloss vun Donnéeën wéi Rengheet a Form vum Substrat (optional)
Wann Dir Saphir-Substrater braucht, zéckt net, eis ze kontaktéieren:
E-Mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Mir mellen eis sou séier wéi méiglech bei Iech zeréck!
Detailéiert Diagramm

