4 Zoll 6 Zoll Lithium Niobat Eenzelkristallfilm LNOI Wafer
De Virbereedungsprozess vun LNOI-Materialien ass haaptsächlech an déi folgend véier Schrëtt opgedeelt.
(1) He-Ionen goufen mat enger bestëmmter Energie an d'X-geschnidden Lithiumniobatmaterial injizéiert an an d'Defektschicht op enger bestëmmter Déift ënner der Uewerflächeschicht vum Lithiumniobat agefouert;
(2) Dat ionenimplantéiert Lithiumniobatmaterial gëtt mat enger Oxidschicht un e Siliziumsubstrat gebonnen, fir eng Bindungsstruktur ze bilden;
(3) D'Bindungsstruktur gouf geglüht, fir datt d'Defekter, déi duerch d'He-Ionenimplantatioun entstane sinn, sech entwéckelen an zesummesetzen, fir Rëss ze bilden. Schlussendlech gouf d'Lithiumniobat laanscht d'Defektschicht getrennt, fir déi reschtlech Lithiumniobatscheiwen an LNOI-Waferen ze bilden.
Uwendungen a Virdeeler vun LNOI-Waferen
1--Lithium-Niobat-Piezoelektresch Filmer (LNOI) hunn en héije piezoelektresche Koeffizient an eng héich dielektresch Konstant, déi mechanesch Energie an elektresch Energie oder elektresch Energie a mechanesch Energie ëmwandele kënnen. Dofir gëtt se wäit verbreet am Beräich vu Sensoren, wéi Drocksensoren, Beschleunigungssensoren, Temperatursensoren asw., benotzt. Zousätzlech kann de Lithium-Niobat-Piezoelektresche Film och an akusteschen Apparater a Vibratiounsapparater benotzt ginn, wéi zum Beispill piezoelektresch Keramikwandlerkomplex a piezoelektresch Keramikfilter.
2-D'Stabilitéit vum piezoelektresche Lithiumniobatfilm ass och ee vu senge Virdeeler. Wéinst senger Kristallstrukturstabilitéit a chemescher Inertitéit kann de piezoelektresche Lithiumniobatfilm bei héijen Temperaturen, héijer Fiichtegkeet, staarken Säuren, staarken Alkalien an aner haart Ëmfeld funktionéieren, mat gudder Korrosiounsbeständegkeet an Haltbarkeet.
3-Lithium-Niobat-piezoelektresch Folie ass en neit piezoelektrescht Material mat exzellenter Leeschtung a Stabilitéit, an huet eng breet Uwendungsperspektiv. Mat der kontinuéierlecher Entwécklung vun der Wëssenschaft an Technologie gëtt de Lithium-Niobat-piezoelektresche Folie a méi Stied ugewannt, wat méi Komfort an Innovatioun an d'Liewe vun de Leit bréngt.
Detailéiert Diagramm


