4 Zoll 6 Zoll Lithium Niobate Single Kristallfilm LNOI wafer
De Virbereedungsprozess vun LNOI Materialien ass haaptsächlech an déi folgend véier Schrëtt opgedeelt
(1) Hien Ionen goufen an der X-Schnëtt Lithium niobate Material op eng gewëssen Energie injizéiert, an agefouert an der Defekt Layer op eng gewëssen Déift ënnert der Uewerfläch Layer vun Lithium niobate;
(2) D'Ion implantéiert Lithiumniobatmaterial gëtt mat engem Siliziumsubstrat mat enger Oxidschicht gebonnen fir eng Bindungsstruktur ze bilden;
(3) D'Bindungsstruktur gouf annealéiert fir d'Mängel, déi duerch He-Ionimplantatioun agefouert goufen, evoluéieren an aggregéiert fir Rëss ze bilden. Schlussendlech gouf de Lithiumniobat laanscht d'Defektschicht getrennt fir d'Rescht Lithiumniobat Scheiwen an LNOI Waferen ze bilden.
Uwendungen a Virdeeler vun LNOI wafer
1 - Lithium Niobate piezoelektresch Filmer (LNOI) hunn héich piezoelektresch Koeffizient an dielektresch Konstante, déi mechanesch Energie an elektresch Energie oder elektresch Energie a mechanesch Energie konvertéieren. Dofir gëtt et vill am Beräich vu Sensoren benotzt, wéi Drocksensoren, Beschleunigungssensoren, Temperatursensoren an sou weider. Zousätzlech kann de Lithium-Niobat piezoelektresche Film och an akustesch Geräter a Schwéngungsgeräter benotzt ginn, wéi zum Beispill piezoelektresche Keramiktransducer komplexe piezoelektresche Keramikfilter.
2-D'Stabilitéit vum Lithium-Niobat piezoelektresche Film ass och ee vu senge Virdeeler. Wéinst senger Kristallstrukturstabilitéit a chemescher Inertheet kann de piezoelektresche Lithium-Niobat-Film an héijer Temperatur, héich Fiichtegkeet, staarker Säure, staarker Alkali an aner haart Ëmfeld schaffen, mat gudder Korrosiounsbeständegkeet an Haltbarkeet.
3-Lithium Niobate piezoelektresche Film ass en neit piezoelektrescht Material mat exzellenter Leeschtung a Stabilitéit, an huet eng breet Uwendungsperspektiv. Mat der kontinuéierlecher Entwécklung vu Wëssenschaft an Technologie gëtt de piezoelektresche Lithium-Niobat-Film a méi Stied applizéiert, wat méi Komfort an Innovatioun an d'Liewe vun de Leit bréngt