4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch Produktioun Dummy Grade Dia 150mm Siliziumkarbidsubstrat
Spezifikatioun vum Siliziumkarbid (SiC)-Substrat mat engem Duerchmiesser vu 6 Zoll
Grad | Null MPD | Produktioun | Fuerschungsgrad | Dummy-Klass |
Duerchmiesser | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Déckt | 4H-N | 350µm±25µm | ||
4H-SI | 500µm±25µm | |||
Wafer Orientéierung | Op der Achs: <0001> ± 0,5° fir 4H-SI | |||
Haaptwunneng | {10-10}±5,0° | |||
Primär flaach Längt | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Randausgrenzung | 3mm | |||
TTV/Béi/Ketten | ≤15µm/≤40µm/≤60µm | |||
Mikropäifdicht | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Widderstand 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rauheet | Polnesch Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Rëss duerch héichintensivt Liicht | Keen | 1 erlaabt, ≤2mm | Kumulativ Längt ≤10mm, eenzel Längt ≤2mm | |
*Hexagonalplacken duerch héichintensivt Liicht | Kumulativ Fläch ≤1% | Kumulativ Fläch ≤ 2% | Kumulativ Fläch ≤ 5% | |
*Polytypberäicher duerch héichintensivt Liicht | Keen | Kumulativ Fläch ≤ 2% | Kumulativ Fläch ≤ 5% | |
*&Kratzer duerch héichintensivt Liicht | 3 Kratzer op 1 x Waferduerchmiesser kumulativ Längt | 5 Kratzer op 1 x Waferduerchmiesser kumulativ Längt | 5 Kratzer bis zu 1 x Waferduerchmiesser kumulativ Längt | |
Kantchip | Keen | 3 erlaabt, ≤0,5 mm all | 5 erlaabt, ≤1mm all | |
Kontaminatioun duerch héichintensivt Liicht | Keen
|
Verkaf & Clientsdéngscht
Materialkaaf
D'Materialkaafsofdeelung ass verantwortlech fir all d'Rohmaterialien ze sammelen, déi fir d'Produktioun vun Ärem Produkt gebraucht ginn. Eng komplett Verfolgbarkeet vun alle Produkter a Materialien, inklusiv chemesch an physikalesch Analysen, ass ëmmer verfügbar.
Qualitéit
Wärend an no der Produktioun oder der Bearbeitung vun Äre Produkter ass d'Qualitéitskontrollofdeelung dobäi involvéiert, sécherzestellen, datt all Materialien an Toleranzen Är Spezifikatioune entspriechen oder iwwerschreiden.
Déngscht
Mir si stolz drop, Verkafsingenieure mat iwwer 5 Joer Erfahrung an der Hallefleederindustrie ze hunn. Si sinn trainéiert fir technesch Froen ze beäntwerten an och fristgerecht Offeren fir Är Bedierfnesser ze maachen.
Mir sinn zu all Moment zu Ärer Säit, wann Dir e Problem hutt, a léisen et bannent 10 Stonnen.
Detailéiert Diagramm

