4H-N/6H-N SiC Wafer Fuerschung Produktioun Dummy Grad Dia150mm Silicon Carbide Substrat
6 Zoll Duerchmiesser Silicon Carbide (SiC) Substrat Spezifizéierung
Grad | Null MPD | Produktioun | Fuerschung Grad | Dummy Grad |
Duerchmiesser | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Dicke | 4H-N | 350um ± 25um | ||
4H-SI | 500um ± 25um | |||
Wafer Orientatioun | Op der Achs:<0001>±0,5° fir 4H-SI | |||
Primär Flat | {10-10} ± 5,0° | |||
Primär flaach Längt | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Rand Ausgrenzung | 3 mm | |||
TTV / Bow / Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikropipe Dicht | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Resistivitéit 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rauhegkeet | Polnesch Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Rëss duerch héich Intensitéit Liicht | Keen | 1 erlaabt ,≤2mm | Kumulativ Längt ≤10mm, eenzeg Längt≤2mm | |
* Hex Placke mat héijer Intensitéit Liicht | Kumulativ Fläch ≤1% | Kumulativ Fläch ≤ 2% | Kumulativ Fläch ≤ 5% | |
* Polytyp Beräicher duerch héich Intensitéit Liicht | Keen | Kumulativ Fläch ≤ 2% | Kumulativ Fläch ≤ 5% | |
* & Kratzer duerch héich Intensitéit Liicht | 3 kraazt op 1 x wafer Duerchmiesser kumulativ Längt | 5 Kratzer op 1 x Wafer Duerchmiesser kumulativ Längt | 5 Kratzer bis 1 x Wafer Duerchmiesser kumulativ Längt | |
Rand Chip | Keen | 3 erlaabt, ≤0,5 mm jee | 5 erlaabt, ≤1mm je | |
Kontaminatioun duerch héich Intensitéit Liicht | Keen
|
Verkaf & Client Service
Material Kafen
D'Materialkaafdepartement ass verantwortlech fir all d'Rohmaterial ze sammelen déi néideg ass fir Äert Produkt ze produzéieren. Komplett Tracabilitéit vun alle Produkter a Materialien, inklusiv chemesch a kierperlech Analyse sinn ëmmer verfügbar.
Qualitéit
Wärend an no der Fabrikatioun oder Veraarbechtung vun Äre Produkter ass d'Qualitéitskontrolldepartement involvéiert fir sécherzestellen datt all Materialien an Toleranzen Är Spezifizéierung treffen oder iwwerschreiden.
Service
Mir si stolz eis Verkafsingenieur Personal mat iwwer 5 Joer Erfahrungen an der Hallefleitindustrie ze hunn. Si sinn trainéiert fir technesch Froen ze beäntweren an och fristgerecht Zitater fir Är Bedierfnesser ze bidden.
mir sinn op Ärer Säit zu all Moment wann Dir Probleemer hutt, a léisen et an 10 Stonnen.