Ultra-Prezisiouns SiC Loftlagerstufe

Ultra-Prezisiouns SiC Loftlagerstuf Featured Image

Kuerz Beschreiwung:

Mat der kontinuéierlecher Entwécklung vun der Hallefleederindustrie fuerderen d'Veraarbechtungs- an Inspektiounsausrüstung ëmmer méi héich Leeschtung. Op Basis vun extensiver Expertise a Bewegungssteierung a Positionéierung op Nanometerniveau hu mir eng planar H-Typ Duebelachs-Ultrapräzis-Loftlagerstufe entwéckelt.

Schéckt eis eng E-Mail

Fonctiounen

Detailéiert Diagramm

Iwwersiicht

Mat enger fir Finite-Elementer optiméierter Siliziumkarbid (SiC) Keramikstruktur an kompenséierter Loftlagertechnologie entwéckelt, liwwert d'Bühn aussergewéinlech Genauegkeet, Steifheet an dynamesch Reaktioun. Si ass ideal geegent fir:

Halbleiterveraarbechtung an Inspektioun
Mikro-/Nanofabrikatioun a Metrologie
Nanometer-Skala Mécken schneiden a poléieren
Héichgeschwindegkeetspräzisiounsscannen

Schlësselmerkmale

SiC Loftlagerführungsschinnfir ultrahéich Steifheet a Präzisioun
Héich DynamikGeschwindegkeet bis zu 1 m/s, Beschleunigung bis zu 4 g, séier Ofsenkung
Duebelundriffsportal Y-Achsgarantéiert eng héich Ladekapazitéit a Stabilitéit
Encoderoptiounenoptescht Gitter oder Laserinterferometer
Positionéierungsgenauegkeet: ±0,15 μm;Widderhuelbarkeet±75 nm
Optimiséiert Kabelféierungfir proppert Design a laangfristeg Zouverlässegkeet
Personaliséierbar Konfiguratiounenfir applikatiounsspezifesch Bedierfnesser

Ultrapräzis Design & direktundriff, kontaktlos Architektur

SiC Keramikrahmen~5x d'Steifheet vun enger Aluminiumlegierung an ~5x méi niddreg thermesch Ausdehnung, wat Héichgeschwindegkeetsstabilitéit an thermesch Robustheet garantéiert.
Kompenséiert LoftlagerProprietär Design verbessert Steifheet, Belaaschtungskapazitéit a Bewegungsstabilitéit.
Dynamesch LeeschtungËnnerstëtzt eng Geschwindegkeet vun 1 m/s an eng Beschleunigung vun 4 g, ideal fir Prozesser mat héijem Duerchgank.
Nahtlos IntegratiounKompatibel mat Schwéngungsisolatiounssystemer, Rotatiounsstänn, Kippmoduler a Wafer-Handhabungsplattformen.
KabelmanagementKontrolléierte Biegradius miniméiert Spannung fir eng verlängert Liewensdauer.

Kärlos LinearmotorReibungslos Bewegung ouni Zännkraaft.
Multi-Motor UndriffD'Placement vum Motor am Laaschtplang verbessert d'Riichtheet, d'Flaachheet an d'Wénkelpräzisioun.
Thermesch IsolatiounMotore sinn vun der Bünestruktur isoléiert; optional Loft- oder Waasserkillung fir héich Ladezyklen.

Spezifikatiounen

Modell	400-400	500-500	600-600
Äxten	X (Scannen) / Y (Schrëtt)	X (Scannen) / Y (Schrëtt)	X (Scannen) / Y (Schrëtt)
Rees (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Genauegkeet (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Widderhuelbarkeet (nm)	±75	±100	±100
Opléisung (nm)	0,3	0,3	0,3
Maximal Geschwindegkeet (m/s)	1	1	1
Beschleunigung (g)	4	4	4
Geriichtheet (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitéit (nm)	±5	±5	±5
Maximal Belaaschtung (kg)	20	20	20
Pitch/Rolling/Yaw (Bousekonn)	±1	±1	±1

Testbedingungen:

Loftzoufuhr: propper, dréchen; Taupunkt ≤ 0°F; Partikelfiltratioun ≤ 0,25 μm; oder 99,99% Stéckstoff.
Genauegkeet gemooss 25 mm iwwer dem Zentrum vum Bühn bei 20±1 °C, 40–60% relative Fiichtegkeet.

Uwendungen

Hallefleiterlithographie, Inspektioun a Waferbehandlung
Mikro-/Nanofabrikatioun a Präzisiounsmetrologie
Produktioun vun héichwäertege Optiken an Interferometrie
Loftfaart a fortgeschratt wëssenschaftlech Fuerschung

FAQ – Siliziumkarbid-Loftlagerstufe

1. Wat ass eng Loftlagerstuf?

Eng Loftdréierbühn benotzt en dënnen Drockluftfilm tëscht der Bühn an der Féierungsbunn fir d'Loftdicht ze garantéieren.reibungslos, verschleissfräi an ultra-glat BewegungAm Géigesaz zu konventionelle mechanesche Lager eliminéiert et Stick-Slip, liwwert eng Genauegkeet op Nanometerniveau a garantéiert eng laangfristeg Zouverlässegkeet.

2. Firwat soll Siliziumkarbid (SiC) fir d'Bünestruktur benotzt ginn?

Héich Steifheet~5× vun där vun enger Aluminiumlegierung, wouduerch d'Deformatioun während dynamescher Bewegung miniméiert gëtt.
Niddreg thermesch Expansioun~5× méi niddreg wéi Aluminium, wouduerch d'Genauegkeet och bei Temperaturschwankungen erhale bleift.
LiichtgewiichtMéi niddreg Dicht am Verglach mat Stol, wat e Betrib mat héijer Geschwindegkeet a héijer Beschleunigung erméiglecht.
Excellent StabilitéitIwwerleeën Dämpfung a Steifheet fir ultra-präzis Positionéierung.

3. Braucht d'Bühn Schmierung oder Ënnerhalt?

Kee traditionellt Schmiermëttel ass néideg, well et gëttkee mechanesche KontaktRecommandéiert Ënnerhalt ëmfaasst:

Liwwerungpropper, dréchen Drockloft oder Stéckstoff
Periodesch Inspektioun vu Filteren an Trockner
Iwwerwaachungskabelen a Killsystemer

4. Wat sinn d'Ufuerderunge fir d'Loftversuergung?

Taupunkt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikelfiltratioun: ≤ 0,25 μm
Propper, dréchen Loft oder 99,99% pure Stéckstoff
Stabilen Drock mat minimale Schwankungen

Iwwer eis

XKH spezialiséiert sech op High-Tech-Entwécklung, Produktioun a Verkaf vu speziellem optesche Glas a neie Kristallmaterialien. Eis Produkter si fir optesch Elektronik, Konsumentelektronik a fir d'Militär geduecht. Mir bidden optesch Komponenten fir Saphir, Lënsenofdeckungen fir Handyen, Keramik, LT, Siliziumcarbid SIC, Quarz a Hallefleederkristallwaferen. Mat qualifizéierter Expertise a moderner Ausrüstung exceléiere mir an der Veraarbechtung vu Produkter ouni Standard, mat dem Zil, e féierend High-Tech-Entreprise fir optoelektronesch Materialien ze sinn.