Saphirröhre Saphirstangen speziell Form Héichdrock KY an EFG
Beschreiwung
Saphirstangen ginn an enger breeder Palette vun Uwendungen agesat. Eng Saphirstang kann mat all Uewerflächen poléiert fir optesch an Verschleissapplikatiounen oder mat all Uewerflächen fein geschliffen (onpoléiert) fir als Isolator ze déngen hiergestallt ginn.
Technologie
Wärend dem Prozess vum Auszéien vu Saphirréier aus enger Schmelz mat Hëllef vun engem Saam gëtt den längste Temperaturgradient an der Zon tëscht der verstäerkter Front an dem Auszéienberäich, wou d'Temperatur tëscht 1850 an 1900 °C läit, op net méi wéi 30 °C/cm gehalen. D'Röhr, déi sou gewuess ass, gëtt bei enger Temperatur tëscht 1950 an 2000 °C geglüht, andeems d'Temperatur mat enger Geschwindegkeet vun 30 bis 40 °C/min erhéicht gëtt an d'Röhr fir eng Period tëscht 3 a 4 Stonnen op där Temperatur gehale gëtt. Duerno gëtt d'Röhr mat enger Geschwindegkeet vun 30-40 °C/min op Raumtemperatur ofgekillt.
Uwendungen an der Halbleiterveraarbechtung:
(HPD CVD, PECVD, Dréchenätzung, Naassätzung)
Plasma-Applikator-Röhre
Prozessgas-Injektordüsen
Endpunktdetektor
Excimer Corona-Réier
Plasma-Enthaltungsréier
Eng Plasmaröhren-Versiegelungsmaschinn ass en Apparat, deen benotzt gëtt fir elektronesch Komponenten ze verkapselen. Säi Prinzip besteet doran, déi héich Temperatur an den héijen Drock vum Plasma ze benotzen, fir d'Verpackungsmaterial ze schmëlzen an et op der Komponent ze verkapselen. Déi Haaptkomponente vun der Plasmaröhren-Versiegelungsmaschinn sinn de Plasmagenerator, d'Röhren-Versiegelungskammer, e Vakuumsystem, e Kontrollsystem, etc.
Thermoelement-Schutzmantel (Thermowell): En Thermoelement ass en heefeg benotzten Temperaturmiesselement an Temperaturmiessinstrumenter. Et moosst direkt d'Temperatur a konvertéiert den Temperatursignal an en thermoelektrescht elektromotorescht Kraaftsignal, dat iwwer den elektreschen Instrument (Sekundärinstrument) an d'Temperatur vum gemoossene Medium reflektéiert gëtt.
Waasserbehandlung/Botzen
Eegeschafte vum Saphirröhrchen (theoretesch)
| Verbindungsformel | Al2O3 |
| Molekulargewiicht | 101,96 |
| Ausgesinn | Duerchsiichteg Réier |
| Schmelzpunkt | 2050 °C (3720 °F) |
| Kachpunkt | 2.977°C (5.391°F) |
| Dicht | 4,0 g/cm3 |
| Morphologie | Trigonal (Hexagonal), R3c |
| Léislechkeet an H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
| Breechungsindex | 1.8 |
| Elektresch Widderstand | 17 10x Ω-m |
| Poisson-Verhältnis | 0,28 |
| Spezifesch Hëtzt | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
| Zugfestigkeit | 1390 MPa (Ultimate) |
| Wärmeleitfäegkeet | 30 W/mK |
| Thermesch Expansioun | 5,3 µm/mK |
| Young säi Modul | 450 GPa |
| Genau Mass | 101,948 g/mol |
| Monoisotopesch Mass | 101.94782 Da |
Detailéiert Diagramm
