p-Typ 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC Substrat 4 Zoll 〈111〉± 0,5° Zero MPD
4H / 6H-P Typ SiC Komposit Substraten Gemeinsam Parameter Dësch
4 Zoll Duerchmiesser SiliconCarbide (SiC) Substrat Spezifizéierung
Grad | Null MPD Produktioun Grad (Z Grad) | Standard Produktioun Grad (P Grad) | Dummy Grad (D Grad) | ||
Duerchmiesser | 99,5 mm ~ 100,0 mm | ||||
Dicke | 350 μm ± 25 μm | ||||
Wafer Orientatioun | Off Achs: 2.0°-4.0° Richtung [1120] ± 0,5° fir 4H/6H-P, On Achs:〈111〉± 0,5° fir 3C-N | ||||
Mikropipe Dicht | 0 cm-2 | ||||
Resistivitéit | p-Typ 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-Typ 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Primär flaach Orientéierung | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Primär flaach Längt | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Sekundär flaach Längt | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Secondary Flat Orientation | Silicon Gesiicht erop: 90 ° CW. aus Prime Appartement±5,0° | ||||
Rand Ausgrenzung | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Rauhegkeet | Polnesch Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Edge Cracks Vun High Intensity Light | Keen | Kumulativ Längt ≤ 10 mm, eenzeg Längt ≤ 2 mm | |||
Hex Placke Vun High Intensity Light | Kumulativ Fläch ≤0,05% | Kumulativ Fläch ≤0,1% | |||
Polytype Beräicher Vun High Intensitéit Light | Keen | Kumulative Beräich ≤3% | |||
Visual Carbon Inklusiounen | Kumulativ Fläch ≤0,05% | Kumulativ Beräich ≤3% | |||
Silicon Surface Scratches Duerch High Intensity Light | Keen | Kumulativ Längt ≤1 × wafer Duerchmiesser | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Keen erlaabt ≥0.2mm Breet an Déift | 5 erlaabt, ≤1 mm all | |||
Silicon Surface Kontaminatioun Duerch Héich Intensitéit | Keen | ||||
Verpakung | Multi-wafer Kassett oder Single Wafer Container |
Notizen:
※ Mängelgrenzen gëllen op déi ganz Waferfläch ausser fir d'Randausgrenzungsberäich. # D'Kratzen sollen nëmmen op Si Gesiicht gepréift ginn.
De P-Typ 4H / 6H-P 3C-N Typ 4-Zoll SiC-Substrat mat 〈111〉± 0,5 ° Orientéierung an Zero MPD-Grad gëtt wäit an héich performant elektronesch Uwendungen benotzt. Seng exzellent thermesch Konduktivitéit an héich Decomptespannung maachen et ideal fir Kraaftelektronik, wéi Héichspannungsschalter, Inverter, a Kraaftkonverter, déi an extremen Bedéngungen funktionnéieren. Zousätzlech garantéiert d'Resistenz vum Substrat géint héich Temperaturen a Korrosioun eng stabil Leeschtung an haarden Ëmfeld. Déi präzis 〈111〉± 0,5 ° Orientéierung verbessert d'Fabrikatiounsgenauegkeet, sou datt et gëeegent ass fir RF-Geräter an Héichfrequenz Uwendungen, wéi Radarsystemer a drahtlose Kommunikatiounsausrüstung.
D'Virdeeler vun N-Typ SiC Komposit Substrate enthalen:
1. High Thermal Conductivity: Effizient Wärmevergëftung, sou datt et gëeegent ass fir héich Temperaturen Ëmfeld a High-Power Uwendungen.
2. High Breakdown Volt: Assuréiert zouverlässeg Leeschtung an Héichspannungsapplikatiounen wéi Stroumkonverter an Inverter.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Grad: Garantéiert minimal Mängel, bitt Stabilitéit an héich Zouverlässegkeet an kriteschen elektroneschen Apparater.
4. Korrosiounsbeständegkeet: Haltbar an härten Ëmfeld, garantéiert laangfristeg Funktionalitéit an usprochsvollen Konditiounen.
5. Genau 〈111〉± 0,5 ° Orientéierung: Erlaabt eng präzis Ausrichtung während der Fabrikatioun, d'Verbesserung vun der Geräterleistung an Héichfrequenz- a RF-Applikatiounen.
Insgesamt ass de P-Typ 4H / 6H-P 3C-N Typ 4-Zoll SiC-Substrat mat 〈111〉± 0,5 ° Orientéierung an Zero MPD Grad e High-Performance Material ideal fir fortgeschratt elektronesch Uwendungen. Seng exzellent thermesch Konduktivitéit an héich Decomptespannung maachen et perfekt fir Kraaftelektronik wéi Héichspannungsschalter, Inverter a Konverter. Den Zero MPD Grad garantéiert minimal Mängel, bitt Zouverlässegkeet a Stabilitéit a kriteschen Apparater. Zousätzlech garantéiert d'Resistenz vum Substrat géint Korrosioun an héich Temperaturen Haltbarkeet an haarden Ëmfeld. Déi präzis 〈111〉 ± 0,5 ° Orientéierung erlaabt eng präzis Ausrichtung wärend der Fabrikatioun, sou datt et héich gëeegent ass fir RF Apparater an Héichfrequenz Uwendungen.