Microjet Laser Technologie Equipement wafer opzedeelen SiC Material Veraarbechtung
Aarbechtsprinzip:
1. Laser Kopplung: gepulste Laser (UV/gréng/Infrarout) konzentréiert sech am Flëssegstrahl fir e stabilen Energietransmissionskanal ze bilden.
2. Liquid Leedung: High-Speed-Jet (Flowrate 50-200m / s) Ofkillung vum Veraarbechtungsgebitt an Ofschnëtter ewechzehuelen fir Hëtztakkumulatioun a Verschmotzung ze vermeiden.
3. Materialentfernung: D'Laserenergie verursaacht Kavitatiounseffekt an der Flëssegkeet fir d'Kälte Veraarbechtung vum Material z'erreechen (Hëtzt beaflosst Zone <1μm).
4. Dynamesch Kontroll: Echtzäit Upassung vu Laserparameter (Muecht, Frequenz) a Jetdruck fir d'Bedierfnesser vu verschiddene Materialien a Strukturen ze treffen.
Schlëssel Parameteren:
1. Laser Muecht: 10-500W (justierbar)
2. Jet Duerchmiesser: 50-300μm
3.Machining Genauegkeet: ± 0.5μm (Schneiden), Tiefe bis Breet Verhältnis 10: 1 (Buer)

Technesch Virdeeler:
(1) Bal null Hëtzt Schued
- Liquid Jet Ofkillung kontrolléiert d'Hëtzt beaflosst Zone (HAZ) op **<1μm**, vermeit Mikrorëss, déi duerch konventionell Laserveraarbechtung verursaacht ginn (HAZ ass normalerweis> 10μm).
(2) Ultra-héich Präzisioun Bearbechtung
- Ausschneiden / Buergenauegkeet bis zu **± 0.5μm**, Randrauhegkeet Ra <0.2μm, reduzéieren de Besoin fir spéider Polieren.
- Ënnerstëtzt komplex 3D Strukturveraarbechtung (wéi konesch Lächer, geformte Schlitze).
(3) Breet Materialkompatibilitéit
- Hard a brécheg Materialien: SiC, Saphir, Glas, Keramik (traditionell Methoden sinn einfach ze zerbriechen).
- Hëtztempfindlech Materialien: Polymer, biologesch Stoffer (kee Risiko fir thermesch Denaturatioun).
(4) Ëmweltschutz an Effizienz
- Keng Staubverschmotzung, Flëssegkeet kann recycléiert a gefiltert ginn.
- 30% -50% Erhéijung vun Veraarbechtung Vitesse (vs. machining).
(5) Intelligent Kontroll
- Integréiert visuell Positionéierung an AI Parameter Optimisatioun, adaptiv Materialdicke a Mängel.
Technesch Spezifikatioune:
Countertop Volume | 300*300*150 | 400*400*200 |
Linearachs XY | Linearmotor. Linearmotor | Linearmotor. Linearmotor |
Linearachs Z | 150 | 200 |
Positionéierungsgenauegkeet μm | +/- 5 | +/- 5 |
Widderholl Positionéierungsgenauegkeet μm | +/- 2 | +/- 2 |
Beschleunegung G | 1 | 0,29 |
Numeresch Kontroll | 3 Achs /3+1 Achs /3+2 Achs | 3 Achs /3+1 Achs /3+2 Achs |
Numeresch Kontroll Typ | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
Wellelängt nm | 532/1064 | 532/1064 |
Bewäert Kraaft W | 50/100/200 | 50/100/200 |
Waasser Jet | 40-100 | 40-100 |
Nozzle Drock Bar | 50-100 | 50-600 |
Dimensiounen (Maschinn) (Breet * Längt * Héicht) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
Gréisst (Kontrollkabinett) (W * L * H) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
Gewiicht (Ausrüstung) T | 2.5 | 3 |
Gewiicht (Kontrollkabinett) KG | 800 | 800 |
Veraarbechtungsfäegkeet | Surface Rauh Ra≤1,6um Ëffnungsgeschwindegkeet ≥1,25 mm/s Ëmfang Schnëtt ≥6mm/s Lineargeschneidgeschwindegkeet ≥50mm/s | Surface Rauh Ra≤1,2um Ëffnungsgeschwindegkeet ≥1,25 mm/s Ëmfang Schnëtt ≥6mm/s Lineargeschneidgeschwindegkeet ≥50mm/s |
Fir Galliumnitridkristall, ultrabreet Bandspalt Halbleitermaterialien (Diamant / Galliumoxid), Raumfaart-Spezialmaterialien, LTCC Kuelestoffkeramiksubstrat, Photovoltaik, Scintillatorkristall an aner Materialveraarbechtung. Bemierkung: Veraarbechtungskapazitéit variéiert jee no Materialeigenschaften
|
Veraarbechtung Fall:

XKH Servicer:
XKH bitt eng ganz Palette vu voller Liewenszyklus Service Ënnerstëtzung fir Mikrojet Laser Technologie Ausrüstung, vum fréie Prozessentwécklung an Ausrüstungsauswielkonsultatioun, bis zur Mëttelfristeg personaliséiert Systemintegratioun (inklusive spezielle Matching vu Laserquell, Jet System an Automatisatiounsmodul), bis spéider Operatioun an Ënnerhalt Training a kontinuéierlech Prozessoptimiséierung, de ganze Prozess ass mat professionnelle techneschen Team Support ausgestatt; Baséierend op 20 Joer Präzisiounsbearbeitungserfahrung, kënne mir One-Stop-Léisungen inklusiv Ausrüstungsverifizéierung, Masseproduktioun Aféierung an After-Sales séier Äntwert (24 Stonnen technesch Ënnerstëtzung + Schlëssel Ersatzdeeler Reserve) fir verschidden Industrien wéi Hallefleit a Medizin, a verspriechen 12 Méint laang Garantie a liewenslaang Ënnerhalt an Upgrade Service. Sécherstellen, datt Client Equipement ëmmer Industrie-Virwaat Veraarbechtung Leeschtung a Stabilitéit hält.
Detailléiert Diagramm


