LiTaO3 Wafer 2 Zoll-8 Zoll 10x10x0,5 mm 1sp 2sp fir 5G/6G Kommunikatioun
Technesch Parameteren
Numm | Optesch Qualitéit LiTaO3 | Schalltischniveau LiTaO3 |
Axial | Z-Schnëtt + / - 0,2 ° | 36° Y-Schnëtt / 42° Y-Schnëtt / X-Schnëtt (+ / - 0,2°) |
Duerchmiesser | 76,2mm + / - 0,3mm/ 100±0,2mm | 76,2 mm + /- 0,3 mm 100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Datum-Ebene | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
Déckt | 500µm + /-5mm 1000µm + /-5mm | 500µm + /-20mm 350µm +/-20mm |
TTV | ≤ 10µm | ≤ 10µm |
Curie-Temperatur | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA-Method) | 605 °C + / -3 °C (DTA-Method |
Uewerflächenqualitéit | Duebelsäiteg Polieren | Duebelsäiteg Polieren |
Ofgeschrägte Kanten | Kantenabrundung | Kantenabrundung |
Schlësselcharakteristiken
1. Elektresch an optesch Leeschtung
· Elektrooptesche Koeffizient: r33 erreecht 30 pm/V (X-Cut), 1,5x méi héich wéi LiNbO3, wat eng ultrabreetbandeg elektrooptesch Modulatioun (>40 GHz Bandbreet) erméiglecht.
· Breet spektral Äntwert: Transmissiounsberäich 0,4–5,0 μm (8 mm Déckt), mat enger UV-Absorptiounskant vun nëmmen 280 nm, ideal fir UV-Laseren a Quantepunkt-Geräter.
· Niddrege pyroelektresche Koeffizient: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), wat d'Stabilitéit an Héichtemperatur-Infraroutsensoren garantéiert.
2. Thermesch a mechanesch Eegeschaften
· Héich thermesch Konduktivitéit: 4,6 W/m·K (X-Cut), véierfach sou vill wéi Quarz, hält en thermesche Zyklësch vun -200–500°C stand.
· Niddrege thermeschen Ausdehnungskoeffizient: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), kompatibel mat Siliziumverpackungen fir d'thermesch Belaaschtung ze minimiséieren.
3. Defektkontroll a Veraarbechtungspräzisioun
· Mikropäifdicht: <0,1 cm⁻² (8-Zoll-Waferen), Dislokatiounsdicht <500 cm⁻² (verifizéiert duerch KOH-Ätzen).
· Uewerflächenqualitéit: CMP-poléiert op Ra <0,5 nm, entsprécht den Ufuerderunge fir d'Flaachheet vum EUV-Lithographiegrad.
Schlësselapplikatiounen
Domain | Applikatiounsszenarien | Technesch Virdeeler |
Optesch Kommunikatioun | 100G/400G DWDM-Laseren, Silizium-Photonikhybridmoduler | Déi breet spektral Transmissioun an de niddrege Wellenleiterverloscht (α <0,1 dB/cm) vu LiTaO3-Wafer erméiglechen eng Expansioun vum C-Band. |
5G/6G Kommunikatioun | SAW-Filter (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR-Filter | 42°Y-geschniddene Wafer erreechen e Kt² vun >15%, wat zu engem niddregen Insertion-Verloscht (<1,5 dB) an engem héije Roll-off (>30 dB) féiert. |
Quantentechnologien | Eenzelphotondetektoren, parametresch Down-Conversion-Quellen | En héije netlineare Koeffizient (χ(2)=40 pm/V) an eng niddreg Däischterzuelquote (<100 Zuelen/s) verbesseren d'Quantequalitéit. |
Industriell Sensorik | Héichtemperaturdrocksensoren, Stroumtransformatoren | Déi piezoelektresch Äntwert (g33 >20 mV/m) an d'Héichtemperaturtoleranz (>400°C) vun de LiTaO3-Wafer si gëeegent fir extrem Ëmfeldbedingungen. |
XKH Servicer
1. Benotzerdefinéiert Waferfabrikatioun
· Gréisst a Schnëtt: 2–8-Zoll-Waferen mat X/Y/Z-Schnëtt, 42°Y-Schnëtt a personaliséierte Wénkelschnëtt (±0,01° Toleranz).
· Dotierungskontroll: Fe, Mg Dotierung iwwer d'Czochralski-Method (Konzentratiounsberäich 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) fir elektrooptesch Koeffizienten an thermesch Stabilitéit ze optimiséieren.
2. Fortgeschratt Prozesstechnologien
· Periodesch Polung (PPLT): Smart-Cut Technologie fir LTOI-Waferen, déi eng Domänperiodpräzisioun vun ±10 nm an eng quasi-phase-matched (QPM) Frequenzkonversioun erreecht.
· Heterogen Integratioun: Si-baséiert LiTaO3-Kompositwaferen (POI) mat Décktkontroll (300–600 nm) an enger Wärmeleitfäegkeet vu bis zu 8,78 W/m·K fir Héichfrequenz-SAW-Filter.
3. Qualitéitsmanagementsystemer
· End-to-End Tester: Raman-Spektroskopie (Polytypverifizéierung), XRD (Kristallinitéit), AFM (Uewerflächenmorphologie) an optesch Uniformitéitstester (Δn <5×10⁻⁵).
4. Global Ënnerstëtzung vun der Liwwerketten
· Produktiounskapazitéit: Méintlech Produktioun >5.000 Waferen (8-Zoll: 70%), mat Noutliwwerung bannent 48 Stonnen.
· Logistiknetz: Ofdeckung an Europa, Nordamerika an Asien-Pazifik iwwer Loft-/Séifracht mat temperaturkontrolléierter Verpackung.


