Héichleistungs-Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor (Gabelarm) fir Halbleiter- a Cleanroom-Automatiséierung

Kuerz Beschreiwung:

Den Alumina Ceramic End Effector, och als Keramikgabelarm oder roboteresch Keramikhand bezeechent, ass eng héichpräzis Handhabungskomponent, déi fir automatiséiert Systemer an Halbleiter-, Photovoltaik-, Paneldisplay- a Laborëmfeld mat héijer Rengheet entwéckelt gouf. En ass entwéckelt fir aussergewéinlech thermesch Stabilitéit, mechanesch Steifheet a chemesch Resistenz ze bidden, andeems en e propperen, zouverléissegen a sécheren Transport vu sensiblen Materialien wéi Siliziumwaferen, Glassubstrater an elektronesche Mikrokomponenten ubitt.

Schéckt eis eng E-Mail

Fonctiounen

Detailéiert Diagramm

Produktvirstellung

Als eng Zort robotereschen Endeffektor ass dës Keramikkomponent déi lescht Grenzfläch tëscht dem Automatiséierungssystem an dem Werkstéck. Si spillt eng entscheedend Roll bei präzisen Transfert-, Ausriichtungs-, Belueden-/Entlueden- a Positionéierungsaufgaben a Reinraim a Vakuumëmfeld.

Keramik-Aarm-fir-Wafer-Undriff-vun-Hallefleiter-G13

Keramik-Aarm-fir-Wafer-Undriff-vun-Hallefleeder-G10

Keramik-Aarm-fir-Wafer-Undriff-vun-Hallefleiter-G07

Materialiwwersiicht – Aluminiumoxidkeramik (Al₂O⃃)

Aluminiumoxidkeramik ass e ganz stabilt an chemesch inert technescht Keramikmaterial, dat fir seng exzellent mechanesch an elektresch Eegeschafte bekannt ass. Den héichreine Aluminiumoxid (≥ 99,5%), deen an dësen Endeffektoren benotzt gëtt, garantéiert:

Héich Härte (Mohs 9)Nëmmen no Diamant bitt Aluminiumoxid extrem Verschleißbeständegkeet.
HéichtemperaturfäegkeetErhält d'strukturell Integritéit iwwer 1600°C.
Chemesch InertitéitResistent géint Säuren, Alkalien, Léisungsmëttel a Plasmaätzungsumgebungen.
Elektresch IsolatiounMat héijer dielektrescher Stäerkt a niddregem dielektresche Verloscht.
Niddreg thermesch ExpansiounGarantéiert dimensional Stabilitéit an thermesche Zyklenëmfeld.
Niddreg PartikelgeneratiounEssentiell fir d'Kompatibilitéit mat Reinraim (Klass 10 bis Klass 1000).

Dës Eegeschafte maachen Aluminiumoxid-Keramik ideal fir missiounskritesch Operatiounen an kontaminatiounsempfindlechen Industrien.

Funktionell Uwendungen

Den Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor gëtt wäit verbreet an High-Tech-Industrieprozesser agesat, besonnesch wou traditionell metallesch oder plastesch Materialien wéinst thermescher Expansioun, Kontaminatioun oder Korrosiounsproblemer net fäeg sinn. Schlëssel Uwendungsberäicher sinn:

Transfer vu Hallefleiterwaferen
Photolithographie-Lade- an Entluedungssystemer
Ëmgang mat Glassubstraten an OLED- an LCD-Linnen
Transfer vu kristallinem Siliziumwafer an der Solarzellenproduktioun
Automatiséiert optesch oder mikroelektronesch Inspektioun
Prouftransport an analyteschen oder biomedizinesche Laboren
Automatiséierungssystemer fir Vakuumëmfeld

Seng Fäegkeet, ouni Partikelen oder statesch Ladung anzeféieren, mécht et onentbehrlech fir präzis Roboteroperatiounen an der Automatiséierung vu Cleanrooms.

Designfeatures & Personnalisatioun

All Keramik-Endeffektor ass sou konzipéiert, datt en op e spezifesche Roboterarm oder Wafer-Handhabungssystem passt. Mir ënnerstëtzen eng komplett Upassung baséiert op:

Kompatibilitéit vu Wafergréissten: 2", 4", 6", 8", 12" a méi
Schlitzgeometrie an Ofstand: Gëeegent fir Kantengrëff, Récksäitënnerstëtzung oder gekerbte Waferdesignen
SaugöffnungenIntegréiert Vakuumlächer oder -kanäl fir kontaktlos Handhabung
MontagekonfiguratiounLächer, Gewënn, Schlitzer, déi op de Flansch vum Enn vun Ärem Roboter ugepasst sinn
UewerflächenbehandlungPoléiert, iwwerlappt oder fein geschliffen Uewerfläch (Ra < 0,2 µm verfügbar)
RandschutzOfgerënnt Ecker oder Offassung fir Waferschieder ze vermeiden

Mat Hëllef vu CAD-Zeechnungen oder 3D-Modeller, déi vu Clienten zur Verfügung gestallt ginn, kënnen eis Ingenieuren all Gabelarm a punkto Gewiicht, Stäerkt a Rengheet optimiséieren.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Virdeeler vu Keramik-Endeffektoren

Fonktioun	Virdeel
Héich mechanesch Steifheet	Erhält dimensional Präzisioun ënner roboterbelaaschte Kräften
Excellent thermesch Leeschtung	Funktionéiert zouverlässeg an Ëmfeld mat héijen Temperaturen oder Plasma
Null Metallkontaminatioun	Kee Risiko vun Ionenkontaminatioun bei der kritescher Hallefleederveraarbechtung
Uewerfläch mat gerénger Reibung	Reduzéiert de Kratzrisiko op Wafer- oder Glassubstrater
Antistatesch an net-magnetesch	Zitt kee Stëbs un a beaflosst kee magnetempfindleche Komponenten
Laang Liewensdauer	Iwwerleeën Verschleißbeständegkeet bei widderhuelende High-Speed-Automatiséierungszyklen
Ultra-propper Kompatibilitéit	Gëeegent fir ISO 14644 Reinraim (Klass 100 an drënner)

Am Verglach mat Plastik- oder Aluminiumäerm bitt Aluminiumoxidkeramik eng dramatesch verbessert chemesch a physikalesch Stabilitéit mat minimale Wartungsufuerderungen.

Immobilie	Metallarm	Plastikarm	Aluminiumoxid Keramik Aarm
Häert	Mëttelméisseg	Niddreg	Ganz héich (Mohs 9)
Thermesch Stabilitéit	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Chemesch Resistenz	Mëttelméisseg	Aarm	Excellent
Gëeegentheet fir propper Raim	Mëttel	Niddreg	Ganz héich
Verschleißbeständegkeet	Mëttel	Niddreg	Aussergewéinlech
Dielektresch Stäerkt	Niddreg	Mëttel	Héich
Präzisioun vun der personaliséierter Bearbechtung	Limitéiert	Mëttelméisseg	Héich (±0,01 mm méiglech)

Technesch Spezifikatiounen

Parameter	Wäert
Material	Héichrein Aluminiumoxid (≥ 99,5%)
Aarbechtstemperatur	Bis zu 1600°C
Uewerflächenrauheet	Ra ≤ 0,2 µm (optional)
Kompatibel Wafergréissten	2" bis 12" oder personaliséiert
Flaachheetstoleranz	±0,01 mm (ofhängeg vun der Uwendung)
Ënnerstëtzung fir Vakuumsaugung	Optional, personaliséierbar Kanäl
Montageoptiounen	Duerchschrauf, Flansch, Schlitzlächer

Dacks gestallte Froen (FAQ)

Q1: Kann den Endeffektor an existent Robotersystemer integréiert ginn?
A1:Jo. Mir ënnerstëtzen d'Personaliséierung baséiert op Ärer Roboter-Interface. Dir kënnt eis eng CAD-Zeechnung oder Flanschdimensiounen fir eng präzis Upassung schécken.

Q2: Bréchen d'Keramikäerm beim Gebrauch liicht?
A2:Obwuel Keramik vun Natur aus brécheg ass, benotzen eis Designen eng optiméiert Geometrie fir d'Spannungskonzentratioun ze minimiséieren. Ënner de richtege Gebrauchsbedingunge bidden se eng däitlech méi laang Liewensdauer wéi Metall oder Plastik.

Q3: Ass et méiglech, dëst an Ultra-Héichvakuum- oder Plasma-Ätzkammeren ze benotzen?
A3:Jo. Aluminiumoxid-Keramik ass net-ausgasend, thermesch stabil a korrosiounsbeständeg - perfekt gëeegent fir Héichvakuum-, Reaktiounsgas- oder Plasmaëmfeld.

Q4: Wéi ginn dës Komponenten gebotzt oder ënnerhalen?
A4:Si kënne mat demstilléiertem Waasser, Alkohol oder Reinigungsmëttel, déi fir Reinraim kompatibel sinn, gereinegt ginn. Wéinst hirer chemescher Stabilitéit an inerter Uewerfläch ass keng speziell Ënnerhaltung néideg.

Iwwer eis

XKH spezialiséiert sech op High-Tech-Entwécklung, Produktioun a Verkaf vu speziellem optesche Glas a neie Kristallmaterialien. Eis Produkter si fir optesch Elektronik, Konsumentelektronik a fir d'Militär geduecht. Mir bidden optesch Komponenten fir Saphir, Lënsenofdeckungen fir Handyen, Keramik, LT, Siliziumcarbid SIC, Quarz a Hallefleederkristallwaferen. Mat qualifizéierter Expertise a moderner Ausrüstung exceléiere mir an der Veraarbechtung vu Produkter ouni Standard, mat dem Zil, e féierend High-Tech-Entreprise fir optoelektronesch Materialien ze sinn.