Aluminiumoxid Keramik Endeffektor / Gabelarm fir Wafer- a Substratbehandlung
Detailéiert Diagramm


Iwwersiicht iwwer Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor

Den Alumina Ceramic End Effector, allgemeng als Keramikgabel oder Keramikgräifer bezeechent, ass e wichtegt Instrument, dat an der Roboterautomatiséierung a bei Cleanroom-Produktiounslinne benotzt gëtt. Den Alumina Ceramic End Effector ass um Roboterarm als lescht Grenzfläche mam Produkt installéiert a verantwortlech fir d'Ophiewen, d'Halten, d'Ausriichtung an den Transfert vun héichempfindlechen Deeler wéi Siliziumwaferen, Glaspanneauen oder mikroelektronesch Komponenten.
Dëse Gabelaarm, deen aus ultra-reiner Aluminiumoxid-Keramik (Al2O3) hiergestallt gëtt, bitt eng aussergewéinlech propper a stabil Léisung fir Ëmfeld, wou Metallkontaminatioun, plastesch Deformatioun oder Partikelbildung net toleréiert kënne ginn.
Materialeigenschaften – Firwat Aluminiumoxid
Iwwer Aluminiumoxid Keramik End Effektor, Aluminiumoxid (Al2O3) ass ee vun de etabléiertsten a zouverlässegstenfortgeschratt IngenieurskeramikD'Qualitéit, déi mir benotzen (≥99,5% Rengheet), bitt eng eenzegaarteg Kombinatioun vu physikaleschen a chemesche Qualitéiten, déi et zum Material vun der Wiel fir Hallefleiter- a Vakuumapplikatioune maachen:
-
Extrem Häert– Mat enger Mohs-Härkeet vun 9 bitt et eng laang dauerhaft Haltbarkeet a Kratzfestegkeet.
-
Thermesch Ausdauer– Erhält d'strukturell Integritéit iwwer 1600°C eraus, a verbessert doduerch Metall- a Polymer-Géigeparteien.
-
Elektresch Isolatioun– Eliminéiert statesch Opbau a bitt komplette dielektresche Schutz.
-
Chemesch Immunitéit– Net beaflosst vu Säuren, Alkalien, Plasmagasen an aggressiven Botzmëttelen.
-
Ultra niddrege Kontaminatiounsrisiko– Net-ausgasend, reibungsarm Uewerfläch, déi d'Partikelfräisetzung a Reinraim miniméiert.
Dës Eegeschafte erlaben et den Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren, ouni Problemer an haarden, héichpräzisen Ëmfeld ze funktionéieren.
Kär Uwendungen vun Aluminiumoxid Keramik End Effektor
D'Villsäitegkeet vun den Endeffektorgabeläerm aus Aluminiumoxid-Keramik mécht se a verschiddenen High-Tech-Industrien essentiell:
-
Transportsystemer fir Hallefleiterwaferen– Siliziumwafer sécher vu Prozess zu Prozess beweegen, ouni Mikrokratzer.
-
Produktioun vu Flaachbildschirmer– Ëmgang mat fragile Glassubstrater fir d'Fabrikatioun vun OLED-, LCD- oder MicroLED-Produktioun.
-
Photovoltaik (PV) Produktioun– Ënnerstëtzung vum Belueden an Entlueden vu Solarwafer ënner Héichgeschwindegkeets-Roboterzyklen.
-
Optesch an elektronesch Komponentenmontage– Grëff op empfindlech Deeler wéi Sensoren, Widderstänn a Miniaturchips.
-
Staubsauger- a Reinraumautomatiséierung– Präzisiounsaufgaben ënner ultra-propperen, partikelkontrolléierte Konditiounen ausféieren.
An all Szenario stellt den Alumina Keramik End Effektor déi entscheedend Verbindung tëscht der roboterescher Automatiséierung an dem Produkt, dat beweegt gëtt, duer.
Design- a Personnaliséierungsoptioune vum Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
All Produktiounslinn huet eenzegaarteg Ufuerderungen. Dofir bidden mir moossgeschneidert Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Léisunge fir verschidde Wafergréissten, Robotersystemer an Handlingmethoden:
Wafer-Kompatibilitéit: Handhabt Wafere vun 2" bis 12" a kënne fir personaliséiert Deeler skaléiert ginn.
Geometrieoptiounen: Eenzelgabel, Duebelgabel, Multi-Slot oder personaliséiert Formen mat integréierten Aussparungen.
Vakuumbehandlung: Optional Vakuumsaugkanäl fir kontaktlos Waferënnerstëtzung.
Montageinterfaces: Benotzerdefinéiert Bolzenlächer, Flanschen oder Schlitzdesignen fir all Roboterarm ze passen.
Uewerflächenbehandlungen: Poléiert oder superfinished Uewerflächen (bis Ra < 0,15 μm).
Kantenprofiler: Ofgeschrägt oder gerundet Kanten fir maximalen Wafer-Schutz.
Eis Ingenieurséquipe fir Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren kann no CAD-Zeechnunge vum Client oder Proufdeeler schaffen, wat eng nahtlos Integratioun an existent Automatiséierungssystemer garantéiert.
Schlësselvirdeeler vun Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren
Fonktioun | Firwat et wichteg ass |
---|---|
Dimensiounspräzisioun | Hält eng perfekt Ausriichtung och bei héijer Geschwindegkeet, widderhuelende Zyklen. |
Net kontaminéierend | Produzéiert praktesch keng Partikelen a erfëllt domat déi streng Ufuerderunge fir Reinraim. |
Hëtzt- a korrosiounsbeständeg | Hält aggressiv Veraarbechtungsschrëtt an thermesch Schocken aus. |
Keng statesch Ladung | Schützt sensibel Waferen a Komponenten virum elektrostatesche Risiko. |
Liicht awer steif | Bitt héich Steifheet ouni d'Belaaschtung vum Roboterarm ze kompromittéieren. |
Verlängert Liewensdauer | Iwwertrefft Metall- a Polymeräerm a punkto Liewensdauer a Zouverlässegkeet. |
Materialvergläich vun Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor
Attribut | Plastik Gabel Aarm | Aluminium/Metall Gabelarm | Alumina Keramik Gabel Aarm |
---|---|---|---|
Häert | Niddreg | Mëttel | Ganz héich |
Thermesch Reechwäit | ≤ 150°C | ≤ 500°C | Bis zu 1600°C |
Chemesch Stabilitéit | Aarm | Mëttelméisseg | Excellent |
Bewäertung vu proppere Raim | Niddreg | Duerchschnëtt | Ideal fir Klass 100 oder besser |
Verschleißbeständegkeet | Limitéiert | Gutt | Aussergewéinlech |
Personaliséierungsniveau | Mëttelméisseg | Limitéiert | Extensiv |
Dacks gestallte Froen (FAQ) iwwer Aluminiumoxid Keramik Endeffektor
Q1: Wat ënnerscheet en Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor vun engem Metall.
A1:Am Géigesaz zu Aluminium- oder Stoläerm korrodéiert, deforméiert oder féiert Aluminiumoxidkeramik net a Hallefleiterprozesser an. Et bleift ënner extremen Bedéngungen dimensional stabil a setzt praktesch keng Partikelen fräi.
Q2: Kënnen dës Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren an Héichvakuum- a Plasmakammeren benotzt ginn?
A2:Jo. Aluminiumoxidkeramik assnet-ausgasenda resistent géint Plasma, wat et zu engem bevorzugten Material fir Vakuumveraarbechtung an Ätzungsausrüstung mécht.
Q3: Wéi personaliséierbar sinn dës Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor-Gabeläerm?
A3:All Eenheet kann sinnkomplett personaliséiert—inklusiv Form, Schlitzer, Sauglächer, Montagestil a Kantenofschloss — fir den Ufuerderunge vun Ärem Robotersystem gerecht ze ginn.
Q4: Sinn se fragil?
A4:Obwuel Keramik eng natierlech Bréchegkeet huet, verdeelt eis Konstruktiounstechnik d'Laascht gläichméisseg a miniméiert d'Spannungspunkten. Wann se richteg behandelt gëtt, ass d'Liewensdauer dacks méi héich wéi déi vu Metall- oder Polymeralternativen.
Iwwer eis
XKH spezialiséiert sech op High-Tech-Entwécklung, Produktioun a Verkaf vu speziellem optesche Glas a neie Kristallmaterialien. Eis Produkter si fir optesch Elektronik, Konsumentelektronik a fir d'Militär geduecht. Mir bidden optesch Komponenten fir Saphir, Lënsenofdeckungen fir Handyen, Keramik, LT, Siliziumcarbid SIC, Quarz a Hallefleederkristallwaferen. Mat qualifizéierter Expertise a moderner Ausrüstung exceléiere mir an der Veraarbechtung vu Produkter ouni Standard, mat dem Zil, e féierend High-Tech-Entreprise fir optoelektronesch Materialien ze sinn.
