6inch SiC Epitaxiy wafer N / P Typ akzeptéieren personaliséiert
De Virbereedungsprozess vu Siliziumkarbid Epitaxialwafer ass eng Method déi Chemesch Vapor Deposition (CVD) Technologie benotzt.Déi folgend sinn déi relevant technesch Prinzipien an Virbereedungsprozess Schrëtt:
Technesch Prinzip:
Chemesch Dampdepositioun: Mat de Rohmaterialgas an der Gasphase, ënner spezifesche Reaktiounsbedéngungen, gëtt et ofgebaut an op de Substrat deposéiert fir de gewënschten dënnen Film ze bilden.
Gasphase Reaktioun: Duerch Pyrolyse oder Rëssreaktioun gi verschidde Rohmaterialgasen an der Gasphase chemesch an der Reaktiounskammer geännert.
Virbereedungsprozess Schrëtt:
Substratbehandlung: De Substrat gëtt Uewerflächreinigung a Virbehandlung ënnerworf fir d'Qualitéit an d'Kristallinitéit vum epitaxiale Wafer ze garantéieren.
Reaktiounskammer Debugging: Upasst d'Temperatur, Drock a Flowrate vun der Reaktiounskammer an aner Parameteren fir d'Stabilitéit an d'Kontroll vun de Reaktiounsbedéngungen ze garantéieren.
Matière première: liwwert déi erfuerderlech Gas Rohmaterialien an d'Reaktiounskammer, vermëschen a kontrolléiert de Flowrate wéi néideg.
Reaktiounsprozess: Duerch d'Erhëtzung vun der Reaktiounskammer gëtt de gasfërmege Fudderstoff eng chemesch Reaktioun an der Chamber fir de gewënschten Depot ze produzéieren, dh Siliziumkarbidfilm.
Ofkillen an Ausluede: Um Enn vun der Reaktioun gëtt d'Temperatur graduell erofgesat fir d'Oflagerungen an der Reaktiounskammer ze killen an ze festen.
Epitaxial Wafer annealing a Post-Veraarbechtung: Déi deponéiert epitaxial Wafer gëtt annealéiert a post-veraarbecht fir seng elektresch an optesch Eegeschaften ze verbesseren.
Déi spezifesch Schrëtt a Konditioune vum Siliziumkarbid epitaxialen Wafer Virbereedungsprozess kënnen ofhängeg vun der spezifescher Ausrüstung an Ufuerderunge variéieren.Dat hei uewen ass nëmmen en allgemenge Prozessfloss a Prinzip, déi spezifesch Operatioun muss ugepasst an optimiséiert ginn no der aktueller Situatioun.
Detailléiert Diagramm
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)