6 Zoll leetfäeg Eenkristall-SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat Duerchmiesser 150 mm P-Typ N-Typ
Technesch Parameteren
Gréisst: | 6 Zoll |
Duerchmiesser: | 150 mm |
Déckt: | 400-500 μm |
Parameter vum monokristalline SiC-Film | |
Polytyp: | 4H-SiC oder 6H-SiC |
Dopingkonzentratioun: | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ cm⁻³ |
Déckt: | 5-20 μm |
Blechwiderstand: | 10-1000 Ω/Quadratmeter |
Elektronemobilitéit: | 800-1200 cm²/Vs |
Lachmobilitéit: | 100-300 cm²/Vs |
Parameter vun der polykristalliner SiC-Pufferschicht | |
Déckt: | 50-300 μm |
Wärmeleitfäegkeet: | 150-300 W/m·K |
Parameter vum monokristalline SiC-Substrat | |
Polytyp: | 4H-SiC oder 6H-SiC |
Dopingkonzentratioun: | 1×10¹⁴ - 1×10¹⁸ cm⁻³ |
Déckt: | 300-500 μm |
Kärengréisst: | > 1 mm |
Uewerflächenrauheet: | < 0,3 mm RMS |
Mechanesch & elektresch Eegeschaften | |
Härkeet: | 9-10 Méint |
Kompressiounsstäerkt: | 3-4 GPa |
Zugfestigkeit: | 0,3-0,5 GPa |
Stäerkt vum Duerchbrochfeld: | > 2 MV/cm |
Total Dosis Toleranz: | > 10 Mrad |
Resistenz géint eenzelt Evenement-Effekt: | > 100 MeV·cm²/mg |
Wärmeleitfäegkeet: | 150-380 W/m·K |
Betribstemperaturberäich: | -55 bis 600°C |
Schlësselcharakteristiken
De 6-Zoll-leitfäege monokristalline SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat bitt eng eenzegaarteg Balance tëscht Materialstruktur a Leeschtung, wat en dofir gëeegent mécht fir usprochsvoll industriell Ëmfeld:
1. Käschteeffizienz: Déi polykristallin SiC-Basis reduzéiert d'Käschten am Verglach mat vollstännegem monokristallinem SiC wesentlech, während déi monokristallin SiC-Aktivschicht eng Leeschtung a Gerätequalitéit garantéiert, ideal fir käschtesensitiv Uwendungen.
2. Aussergewéinlech elektresch Eegeschaften: Déi monokristallin SiC-Schicht weist eng héich Trägermobilitéit (>500 cm²/V·s) an eng niddreg Defektdicht op, wat den Operatioun vun Apparater mat héijer Frequenz an héijer Leeschtung ënnerstëtzt.
3. Héichtemperaturstabilitéit: Déi inherent Héichtemperaturbeständegkeet (>600°C) vu SiC garantéiert, datt de Kompositsubstrat ënner extremen Bedingungen stabil bleift, wouduerch en fir Elektroautoen an industriell Motorapplikatioune gëeegent ass.
4,6-Zoll standardiséiert Wafergréisst: Am Verglach mat traditionelle 4-Zoll SiC-Substrater erhéicht de 6-Zoll-Format d'Chipausgabe ëm iwwer 30%, wouduerch d'Käschte pro Eenheet vum Apparat reduzéiert ginn.
5. Konduktivt Design: Virdotiert N-Typ oder P-Typ Schichten miniméieren d'Ionenimplantatiounsschritte bei der Fabrikatioun vun Apparater, wat d'Produktiounseffizienz an den Ausbezuelung verbessert.
6. Iwwerleeën Wärmemanagement: D'Wärmeleitfäegkeet vun der polykristalliner SiC-Basis (~120 W/m·K) ass ähnlech wéi déi vu monokristallinem SiC, wat effektiv d'Erausfuerderunge vun der Wärmeofleedung an Héichleistungsgeräter adresséiert.
Dës Charakteristike positionéieren dat 6-Zoll-leitend monokristallint SiC op polykristallinesem SiC-Kompositsubstrat als kompetitiv Léisung fir Industrien wéi erneierbar Energien, Schinnetransport an Loftfaart.
Primär Uwendungen
De 6-Zoll-leitfäege monokristalline SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat gouf erfollegräich a verschiddene Beräicher mat héijer Nofro agesat:
1. Undriffssystemer fir Elektroautoen: Benotzt a SiC-MOSFETs an Dioden mat Héichspannung, fir d'Effizienz vum Inverter ze verbesseren an d'Reechwäit vun der Batterie ze verlängeren (z.B. Tesla, BYD Modeller).
2. Industriell Motorundriff: Erméiglecht héichtemperaturéiert, héichschaltfrequenz-Energiemoduler, wat den Energieverbrauch a schwéiere Maschinnen a Wandturbinnen reduzéiert.
3. Photovoltaesch Inverteren: SiC-Apparater verbesseren d'Effizienz vun der Solarkonversioun (>99%), während de Kompositsubstrat d'Systemkäschte weider reduzéiert.
4. Schinnetransport: Gëtt an Traktiounswandler fir Héichgeschwindegkeetsschinne- a Metrosystemer ugewannt, a bitt en Héichspannungswiderstand (>1700V) a kompakt Formfaktoren.
5. Loftfaart: Ideal fir Satellitten-Energiesystemer a Kontrollkreesser fir Fligermotoren, fäeg extremen Temperaturen a Stralung standzehalen.
An der praktescher Fabrikatioun ass de 6-Zoll leetfäege monokristalline SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat voll kompatibel mat Standard-SiC-Apparatprozesser (z.B. Lithographie, Ätzen) a brauch keng zousätzlech Kapitalinvestitioun.
XKH Servicer
XKH bitt ëmfaassend Ënnerstëtzung fir de 6-Zoll-leitenden monokristalline SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat, vun der Fuerschung an Entwécklung bis zur Masseproduktioun:
1. Personnalisatioun: Justierbar monokristallin Schichtdicke (5–100 μm), Dotierungskonzentratioun (1e15–1e19 cm⁻³) an Kristallorientéierung (4H/6H-SiC) fir verschidden Ufuerderunge vun den Apparater gerecht ze ginn.
2. Waferveraarbechtung: Grousshandelsliwwerung vu 6-Zoll-Substrater mat Verdënnung vun der Récksäit a Metalliséierungsservicer fir Plug-and-Play-Integratioun.
3. Technesch Validatioun: Ëmfaasst XRD-Kristallinitéitsanalyse, Hall-Effekt-Tester a Miessung vum thermesche Widderstand fir d'Materialqualifikatioun ze beschleunegen.
4. Schnell Prototyping: 2- bis 4-Zoll Proben (de selwechte Prozess) fir Fuerschungsinstituter fir d'Entwécklungszyklen ze beschleunegen.
5. Feeleranalyse & Optimiséierung: Léisunge fir Veraarbechtungsproblemer op Materialniveau (z.B. Defekter an der epitaktischer Schicht).
Eis Missioun ass et, de 6-Zoll-leitende monokristalline SiC op polykristallinem SiC-Kompositsubstrat als déi bevorzugt Käschte-Leeschtungs-Léisung fir SiC-Leeschtungselektronik ze etabléieren, andeems mir eng komplett Ënnerstëtzung vum Prototyping bis zur Masseproduktioun ubidden.
Conclusioun
Dat 6-Zoll-leitfäeg monokristallint SiC op polykristallinesem SiC-Kompositsubstrat erreecht eng duerchbrochend Gläichgewiicht tëscht Leeschtung a Käschten duerch seng innovativ mono/polykristallin Hybridstruktur. Mat der Verbreedung vun Elektroautoen an dem Fortschrëtt vun der Industrie 4.0 bitt dëst Substrat eng zouverlässeg Materialbasis fir d'Leeschtungselektronik vun der nächster Generatioun. XKH begréisst Zesummenaarbechten, fir de Potenzial vun der SiC-Technologie weider z'erfuerschen.

