12 Zoll Vollautomatesch Präzisiouns-Würfelsäge-Ausrüstung Wafer-Schneidsystem fir Si/SiC & HBM (Al)
Technesch Parameteren
Parameter | Spezifikatioun |
Aarbechtsgréisst | Φ8", Φ12" |
Spindel | Duebelachs 1,2/1,8/2,4/3,0, Max. 60000 U/min |
Klingengréisst | 2" ~ 3" |
Y1 / Y2 Achs
| Eenzelstufe-Inkrement: 0,0001 mm |
Positionéierungsgenauegkeet: < 0,002 mm | |
Schnëttbereich: 310 mm | |
X-Achs | Zufuhrgeschwindegkeetsberäich: 0,1–600 mm/s |
Z1 / Z2 Achs
| Eenzelstufe-Inkrement: 0,0001 mm |
Positionéierungsgenauegkeet: ≤ 0,001 mm | |
θ Achs | Positionéierungsgenauegkeet: ±15" |
Botzstatioun
| Rotatiounsgeschwindegkeet: 100–3000 rpm |
Botzmethod: Automatesch Spullen & Spindréchnen | |
Betribsspannung | 3-Phasen 380V 50Hz |
Dimensiounen (B×D×H) | 1550 × 1255 × 1880 mm |
Gewiicht | 2100 kg |
Aarbechtsprinzip
D'Ausrüstung erreecht héichpräzis Schnëtt duerch déi folgend Technologien:
1. Spindelsystem mat héijer Steifheet: Rotatiounsgeschwindegkeet vu bis zu 60.000 U/min, equipéiert mat Diamantscheiwen oder Laserschneidkäpp fir sech un ënnerschiddlech Materialeegeschafte unzepassen.
2. Méiachseg Bewegungskontroll: X/Y/Z-Achs Positionéierungsgenauegkeet vun ±1μm, kombinéiert mat héichpräzise Gitterskalaen fir ofwäichungsfräi Schnëttweeër ze garantéieren.
3. Intelligent visuell Ausriichtung: Héichopléisend CCD (5 Megapixel) erkennt automatesch Schnëttstroossen a kompenséiert fir Materialverzerrung oder Fehlausriichtung.
4. Ofkillung & Staubentfernung: Integréiert Waasserkühlsystem a Vakuumsaugstaubentfernung fir den thermeschen Impakt an d'Partikelkontaminatioun ze minimiséieren.
Schneidmodi
1. Klingenfräsen: Gëeegent fir traditionell Hallefleitmaterialien wéi Si a GaAs, mat Schnëttbreeten vun 50–100 μm.
2. Stealth Laser Dicing: Gëtt fir ultradënn Waferen (<100μm) oder fragil Materialien (z.B. LT/LN) benotzt, wat eng stressfräi Trennung erméiglecht.
Typesch Uwendungen
Kompatibelt Material | Uwendungsfeld | Veraarbechtungsufuerderungen |
Silizium (Si) | ICs, MEMS-Sensoren | Héichpräzis Schnëtt, Splënnen <10μm |
Siliziumkarbid (SiC) | Energieversuergungsapparater (MOSFET/Dioden) | Schneiden mat geréngem Schued, Optimiséierung vum Wärmemanagement |
Galliumarsenid (GaAs) | HF-Geräter, optoelektronesch Chips | Mikrorëssverhënnerung, Rengheetskontroll |
LT/LN Substrater | SAW-Filter, optesch Modulatoren | Stressfräi Schnëtt, Erhalen vun de piezoelektreschen Eegeschaften |
Keramiksubstrater | Stroummoduler, LED-Verpackung | Veraarbechtung vu Material mat héijer Härte, Kantenflaachheet |
QFN/DFN-Rahmen | Fortgeschratt Verpackung | Simultan Schnëtt vu verschiddene Chips, Effizienzoptimiséierung |
WLCSP-Waferen | Verpackung op Waferniveau | Schuedfräi Wierfelen vun ultradënne Waferen (50μm) |
Virdeeler
1. High-Speed-Kassetterahmen-Scannen mat Kollisiounspréventiounsalarmer, schneller Transferpositionéierung a staarker Feelerkorrekturfäegkeet.
2. Optimiséierten Duebelspindel-Schnëttmodus, wat d'Effizienz ëm ongeféier 80% am Verglach mat Eenspindelsystemer verbessert.
3. Präzisiounsimportéiert Kugelschrauben, Linearféierungen a Geschlossene-Loop-Kontroll mat Y-Achs-Gitterskala, déi eng laangfristeg Stabilitéit vun der héichpräziser Bearbechtung garantéieren.
4. Vollautomatiséiert Belueden/Entlueden, Transferpositionéierung, Ausriichtungsschneiden a Schnëttinspektioun, wat d'Aarbechtslaascht vum Bedreiwer (OP) däitlech reduzéiert.
5. Spindelmontagestruktur am Gantry-Stil, mat engem Mindestofstand vun 24 mm tëscht den Duebelklingen, wat eng méi breet Adaptabilitéit fir Duebelspindelschneidprozesser erméiglecht.
Fonctiounen
1. Héichpräzis Héichtenmiessung ouni Kontakt.
2. Multi-Wafer Duebelklingenschneiden op engem eenzegen Tablett.
3. Automatesch Kalibrierung, Schnëttinspektioun a Systemer fir d'Detektioun vu Klingenbroch.
4. Ënnerstëtzt verschidde Prozesser mat auswielbaren automateschen Ausriichtungsalgorithmen.
5. Feeler-Selbstkorrekturfunktionalitéit an Echtzäit-Iwwerwaachung vu verschiddene Positiounen.
6. Inspektiounskapazitéit vum éischte Schnëtt nom initialen Wierfelen.
7. Personnaliséierbar Fabrécksautomatiséierungsmoduler an aner optional Funktiounen.
Ausrüstungsservicer
Mir bidden ëmfaassend Ënnerstëtzung vun der Auswiel vun der Ausrüstung bis zur laangfristeger Ënnerhaltung:
(1) Personnaliséiert Entwécklung
· Klingen-/Laserschneidléisungen op Basis vun de Materialeegeschafte empfeelen (z. B. SiC-Härkeet, GaAs-Brëchkeet).
· Gratis Prouftestung ubidden, fir d'Schnëttqualitéit ze kontrolléieren (inklusiv Splitterung, Schnëttbreet, Uewerflächenrauheet, asw.).
(2) Technesch Ausbildung
· Grondausbildung: Betrib vun der Ausrüstung, Parameteranpassung, reegelméisseg Ënnerhalt.
· Fortgeschratt Coursen: Prozessoptimiséierung fir komplex Materialien (z.B. stressfräi Schneiden vun LT-Substrater).
(3) Ënnerstëtzung nom Verkaf
· Äntwert 24/7: Ferndiagnostik oder Hëllef op der Plaz.
· Ersatzdeelerversuergung: Spindelen, Klingen an optesch Komponenten op Lager fir e schnelle Ersatz.
· Präventiv Ënnerhalt: Reegelméisseg Kalibrierung fir d'Genauegkeet ze erhalen an d'Liewensdauer ze verlängeren.

Eis Virdeeler
✔ Branchenerfahrung: Bedéngt iwwer 300 weltwäit Hallefleeder- an Elektronikhersteller.
✔ Modern Technologie: Präzisiounslinear Féierungen a Servosystemer garantéieren eng féierend Stabilitéit.
✔ Globalt Servicenetz: Ofdeckung an Asien, Europa an Nordamerika fir lokaliséierten Support.
Fir Tester oder Ufroen, kontaktéiert eis!

