12 Zoll SIC-Substrat Siliziumkarbid-Prime-Grad Duerchmiesser 300 mm grouss Gréisst 4H-N Gëeegent fir Hëtzofleedung duerch héich Leeschtungsgeräter

Kuerz Beschreiwung:

En 12-Zoll-Siliziumkarbid-Substrat (SiC-Substrat) ass e grousst, héichperformant Hallefleedermaterialsubstrat, dat aus engem Eenzelkristall vu Siliziumkarbid hiergestallt gëtt. Siliziumkarbid (SiC) ass e groussbandspalt Hallefleedermaterial mat exzellenten elektreschen, thermeschen a mechaneschen Eegeschaften, dat wäit verbreet bei der Fabrikatioun vun elektroneschen Apparater an Ëmfeld mat héijer Leeschtung, héijer Frequenz an héijen Temperaturen agesat gëtt. Den 12-Zoll-Substrat (300 mm) ass déi aktuell fortgeschratt Spezifikatioun vun der Siliziumkarbidtechnologie, déi d'Produktiounseffizienz däitlech verbesseren an d'Käschte reduzéieren kann.


Produktdetailer

Produkt Tags

Produktcharakteristiken

1. Héich thermesch Konduktivitéit: D'thermesch Konduktivitéit vu Siliziumcarbid ass méi wéi 3 Mol sou héich wéi déi vu Silizium, wat fir d'Hëtztofleedung vun héichleistungsgeräter gëeegent ass.

2. Héich Duerchbrochfeldstäerkt: D'Duerchbrochfeldstäerkt ass 10 Mol sou grouss wéi déi vu Silizium, gëeegent fir Héichdrockapplikatiounen.

3. Breet Bandlück: D'Bandlück ass 3,26 eV (4H-SiC), gëeegent fir Héichtemperatur- an Héichfrequenzapplikatiounen.

4. Héich Häert: D'Mohs-Häert ass 9,2, zweet no Diamant, exzellent Verschleißbeständegkeet a mechanesch Stäerkt.

5. Chemesch Stabilitéit: staark Korrosiounsbeständegkeet, stabil Leeschtung bei héijen Temperaturen an haarden Ëmfeld.

6. Grouss Gréisst: 12 Zoll (300mm) Substrat, verbessert d'Produktiounseffizienz, reduzéiert d'Eenheetskäschten.

7. Niddreg Defektdicht: héichqualitativ Eenkristallwachstumstechnologie fir eng niddreg Defektdicht an eng héich Konsistenz ze garantéieren.

Haaptapplikatiounsrichtung vum Produkt

1. Leeschtungselektronik:

Mosfets: Gëtt an Elektroautoen, industrielle Motorundriff a Stroumwandler benotzt.

Dioden: wéi z. B. Schottky-Dioden (SBD), déi fir effizient Gläichrichtigung a Schaltstroumversuergung benotzt ginn.

2. RF-Geräter:

RF-Leeschtungsverstärker: gëtt a 5G-Kommunikatiounsbasisstatiounen a Satellittekommunikatioun benotzt.

Mikrowellengeräter: Gëeegent fir Radar a drahtlos Kommunikatiounssystemer.

3. Nei Energieautoen:

Elektresch Undriffssystemer: Motorsteuerungen an Inverter fir Elektroautoen.

Ladestapel: Stroummodul fir Schnellladegeräter.

4. Industriell Uwendungen:

Héichspannungsinverter: fir industriell Motorsteierung an Energiemanagement.

Smart Grid: Fir HVDC-Iwwerdroung an Transformatoren fir Kraaftelektronik.

5. Loft- a Raumfaart:

Héichtemperaturelektronik: gëeegent fir Héichtemperaturëmfeld vun der Loftfaartausrüstung.

6. Fuerschungsberäich:

Fuerschung iwwer Hallefleeder mat breeder Bandlück: fir d'Entwécklung vun neie Hallefleedermaterialien an -komponenten.

Den 12-Zoll Siliziumkarbid-Substrat ass eng Zort héichperformant Hallefleedermaterial-Substrat mat exzellenten Eegeschafte wéi héijer Wärmeleitfäegkeet, héijer Duerchbrochfeldstäerkt a breeder Bandlück. Et gëtt wäit verbreet an der Leeschtungselektronik, Radiofrequenzgeräter, neien Energiefahrzeugen, industrieller Kontroll an der Loftfaart benotzt, an ass e Schlësselmaterial fir d'Entwécklung vun der nächster Generatioun vun effizienten an héichleeschtenden elektroneschen Apparater ze fërderen.

Wärend Siliziumcarbid-Substrater de Moment manner direkt Uwendungen an der Konsumentelektronik wéi AR-Brëller hunn, kéint hiert Potenzial am effiziente Stroumverwaltungsmanagement a miniaturiséierter Elektronik liicht, héich performant Stroumversuergungsléisunge fir zukünfteg AR/VR-Geräter ënnerstëtzen. De Moment konzentréiert sech d'Haaptentwécklung vum Siliziumcarbid-Substrat op industriell Beräicher wéi nei Energiefahrzeuge, Kommunikatiounsinfrastruktur an industriell Automatiséierung, a fërdert d'Halbleiterindustrie zu enger méi effizienter a zouverléisseger Richtung.

XKH engagéiert sech fir héichqualitativ 12" SIC-Substrater mat ëmfangräichem techneschen Support a Servicer ze liwweren, dorënner:

1. Personnaliséiert Produktioun: No de Bedierfnesser vum Client sollen ënnerschiddlech Widderstänn, Kristallorientéierung a Substrat fir d'Uewerflächenbehandlung ugebuede ginn.

2. Prozessoptimiséierung: Clienten technesch Ënnerstëtzung fir epitaktesch Wuesstem, Apparatfabrikatioun an aner Prozesser ubidden, fir d'Produktleistung ze verbesseren.

3. Tester a Zertifizéierung: Streng Defektdetektioun a Qualitéitszertifizéierung ubidden, fir sécherzestellen, datt de Substrat den Industriestandarden entsprécht.

4. Fuerschungs- a Entwécklungszesummenaarbecht: Gemeinsam Entwécklung vun neien Siliziumkarbid-Apparater mat Clienten fir technologesch Innovatioun ze fërderen.

Datendiagramm

Spezifikatioun vum Siliziumkarbid (SiC) Substrat vun 1,5 cm (2 Zoll)
Grad ZeroMPD Produktioun
Grad (Z Grad)
Standardproduktioun
Grad (P Grad)
Dummy-Klass
(Klass D)
Duerchmiesser 300 mm~305 mm
Déckt 4H-N 750μm ± 15 μm 750μm±25μm
4H-SI 750μm ± 15 μm 750μm±25μm
Wafer Orientéierung Off-Achs: 4,0° Richtung <1120 >±0,5° fir 4H-N, Op-Achs: <0001>±0,5° fir 4H-SI
Mikropäifdicht 4H-N ≤0,4 cm-2 ≤4cm-2 ≤25cm-2
4H-SI ≤5cm-2 ≤10cm-2 ≤25cm-2
Widderstandsfäegkeet 4H-N 0,015~0,024 Ω·cm 0,015~0,028 Ω·cm
4H-SI ≥1E10 Ω·cm ≥1E5 Ω·cm
Primär flaach Orientéierung {10-10} ±5,0°
Primär flaach Längt 4H-N N/A
4H-SI Kerb
Randausgrenzung 3 mm
LTV/TTV/Béi/Verzerrung ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm ≤5μm/≤15μm/≤35□ μm/≤55□ μm
Rauheet Polnesch Ra≤1 nm
CMP Ra≤0,2 nm Ra≤0,5 nm
Kantrëss duerch héichintensivt Liicht
Sechseckplacken duerch héichintensivt Liicht
Polytypberäicher duerch héichintensivt Liicht
Visuell Kuelestoffinklusiounen
Siliziumoberfläche kraazt duerch héichintensivt Liicht
Keen
Kumulativ Fläch ≤0,05%
Keen
Kumulativ Fläch ≤0,05%
Keen
Kumulativ Längt ≤ 20 mm, eenzel Längt ≤2 mm
Kumulativ Fläch ≤0,1%
Kumulativ Fläch ≤3%
Kumulativ Fläch ≤3%
Kumulativ Längt ≤1 × Waferduerchmiesser
Kantchips duerch héichintensivt Liicht Keen erlaabt ≥0,2 mm Breet an Déift 7 erlaabt, ≤1 mm all
(TSD) Verrécklung vun der Gewindeschraube ≤500 cm-2 N/A
(BPD) Basisplanverrécklung ≤1000 cm⁻² N/A
Kontaminatioun vun der Siliziumoberfläche duerch héichintensivt Liicht Keen
Verpackung Multi-Wafer Kassett oder Eenzelwafer Behälter
Notizen:
1 D'Defektlimitte gëllen fir déi ganz Waferuewerfläch ausser fir de Randausschlussberäich.
2D'Kratzer sollten nëmmen op der Si-Gesiicht iwwerpréift ginn.
3 D'Dislokatiounsdaten stamen nëmme vu KOH-geätzten Waferen.

XKH wäert weiderhin an d'Fuerschung an d'Entwécklung investéieren, fir den Duerchbroch vun 12-Zoll-Siliciumcarbid-Substrater a grousser Gréisst, mat wéineg Defekter an héijer Konsistenz ze fërderen, während XKH seng Uwendungen an nei opkomende Beräicher wéi Konsumentelektronik (wéi z. B. Energiemoduler fir AR/VR-Geräter) a Quantecomputer exploréiert. Duerch d'Reduktioun vun de Käschten an d'Erhéijung vun der Kapazitéit wäert XKH der Hallefleederindustrie Wuelstand bréngen.

Detailéiert Diagramm

12 Zoll Sic Wafer 4
12 Zoll Sic Wafer 5
12 Zoll Sic Wafer 6

  • Virdrun:
  • Weider:

  • Schreift Är Noriicht hei a schéckt se eis