12 Zoll SIC-Substrat Siliziumkarbid-Prime-Grad Duerchmiesser 300 mm grouss Gréisst 4H-N Gëeegent fir Hëtzofleedung duerch héich Leeschtungsgeräter
Produktcharakteristiken
1. Héich thermesch Konduktivitéit: D'thermesch Konduktivitéit vu Siliziumcarbid ass méi wéi 3 Mol sou héich wéi déi vu Silizium, wat fir d'Hëtztofleedung vun héichleistungsgeräter gëeegent ass.
2. Héich Duerchbrochfeldstäerkt: D'Duerchbrochfeldstäerkt ass 10 Mol sou grouss wéi déi vu Silizium, gëeegent fir Héichdrockapplikatiounen.
3. Breet Bandlück: D'Bandlück ass 3,26 eV (4H-SiC), gëeegent fir Héichtemperatur- an Héichfrequenzapplikatiounen.
4. Héich Häert: D'Mohs-Häert ass 9,2, zweet no Diamant, exzellent Verschleißbeständegkeet a mechanesch Stäerkt.
5. Chemesch Stabilitéit: staark Korrosiounsbeständegkeet, stabil Leeschtung bei héijen Temperaturen an haarden Ëmfeld.
6. Grouss Gréisst: 12 Zoll (300mm) Substrat, verbessert d'Produktiounseffizienz, reduzéiert d'Eenheetskäschten.
7. Niddreg Defektdicht: héichqualitativ Eenkristallwachstumstechnologie fir eng niddreg Defektdicht an eng héich Konsistenz ze garantéieren.
Haaptapplikatiounsrichtung vum Produkt
1. Leeschtungselektronik:
Mosfets: Gëtt an Elektroautoen, industrielle Motorundriff a Stroumwandler benotzt.
Dioden: wéi z. B. Schottky-Dioden (SBD), déi fir effizient Gläichrichtigung a Schaltstroumversuergung benotzt ginn.
2. RF-Geräter:
RF-Leeschtungsverstärker: gëtt a 5G-Kommunikatiounsbasisstatiounen a Satellittekommunikatioun benotzt.
Mikrowellengeräter: Gëeegent fir Radar a drahtlos Kommunikatiounssystemer.
3. Nei Energieautoen:
Elektresch Undriffssystemer: Motorsteuerungen an Inverter fir Elektroautoen.
Ladestapel: Stroummodul fir Schnellladegeräter.
4. Industriell Uwendungen:
Héichspannungsinverter: fir industriell Motorsteierung an Energiemanagement.
Smart Grid: Fir HVDC-Iwwerdroung an Transformatoren fir Kraaftelektronik.
5. Loft- a Raumfaart:
Héichtemperaturelektronik: gëeegent fir Héichtemperaturëmfeld vun der Loftfaartausrüstung.
6. Fuerschungsberäich:
Fuerschung iwwer Hallefleeder mat breeder Bandlück: fir d'Entwécklung vun neie Hallefleedermaterialien an -komponenten.
Den 12-Zoll Siliziumkarbid-Substrat ass eng Zort héichperformant Hallefleedermaterial-Substrat mat exzellenten Eegeschafte wéi héijer Wärmeleitfäegkeet, héijer Duerchbrochfeldstäerkt a breeder Bandlück. Et gëtt wäit verbreet an der Leeschtungselektronik, Radiofrequenzgeräter, neien Energiefahrzeugen, industrieller Kontroll an der Loftfaart benotzt, an ass e Schlësselmaterial fir d'Entwécklung vun der nächster Generatioun vun effizienten an héichleeschtenden elektroneschen Apparater ze fërderen.
Wärend Siliziumcarbid-Substrater de Moment manner direkt Uwendungen an der Konsumentelektronik wéi AR-Brëller hunn, kéint hiert Potenzial am effiziente Stroumverwaltungsmanagement a miniaturiséierter Elektronik liicht, héich performant Stroumversuergungsléisunge fir zukünfteg AR/VR-Geräter ënnerstëtzen. De Moment konzentréiert sech d'Haaptentwécklung vum Siliziumcarbid-Substrat op industriell Beräicher wéi nei Energiefahrzeuge, Kommunikatiounsinfrastruktur an industriell Automatiséierung, a fërdert d'Halbleiterindustrie zu enger méi effizienter a zouverléisseger Richtung.
XKH engagéiert sech fir héichqualitativ 12" SIC-Substrater mat ëmfangräichem techneschen Support a Servicer ze liwweren, dorënner:
1. Personnaliséiert Produktioun: No de Bedierfnesser vum Client sollen ënnerschiddlech Widderstänn, Kristallorientéierung a Substrat fir d'Uewerflächenbehandlung ugebuede ginn.
2. Prozessoptimiséierung: Clienten technesch Ënnerstëtzung fir epitaktesch Wuesstem, Apparatfabrikatioun an aner Prozesser ubidden, fir d'Produktleistung ze verbesseren.
3. Tester a Zertifizéierung: Streng Defektdetektioun a Qualitéitszertifizéierung ubidden, fir sécherzestellen, datt de Substrat den Industriestandarden entsprécht.
4. Fuerschungs- a Entwécklungszesummenaarbecht: Gemeinsam Entwécklung vun neien Siliziumkarbid-Apparater mat Clienten fir technologesch Innovatioun ze fërderen.
Datendiagramm
Spezifikatioun vum Siliziumkarbid (SiC) Substrat vun 1,5 cm (2 Zoll) | |||||
Grad | ZeroMPD Produktioun Grad (Z Grad) | Standardproduktioun Grad (P Grad) | Dummy-Klass (Klass D) | ||
Duerchmiesser | 300 mm~305 mm | ||||
Déckt | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | |||
Wafer Orientéierung | Off-Achs: 4,0° Richtung <1120 >±0,5° fir 4H-N, Op-Achs: <0001>±0,5° fir 4H-SI | ||||
Mikropäifdicht | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Widderstandsfäegkeet | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Primär flaach Orientéierung | {10-10} ±5,0° | ||||
Primär flaach Längt | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Kerb | ||||
Randausgrenzung | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Béi/Verzerrung | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35□ μm/≤55□ μm | |||
Rauheet | Polnesch Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Kantrëss duerch héichintensivt Liicht Sechseckplacken duerch héichintensivt Liicht Polytypberäicher duerch héichintensivt Liicht Visuell Kuelestoffinklusiounen Siliziumoberfläche kraazt duerch héichintensivt Liicht | Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen | Kumulativ Längt ≤ 20 mm, eenzel Längt ≤2 mm Kumulativ Fläch ≤0,1% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Längt ≤1 × Waferduerchmiesser | |||
Kantchips duerch héichintensivt Liicht | Keen erlaabt ≥0,2 mm Breet an Déift | 7 erlaabt, ≤1 mm all | |||
(TSD) Verrécklung vun der Gewindeschraube | ≤500 cm-2 | N/A | |||
(BPD) Basisplanverrécklung | ≤1000 cm⁻² | N/A | |||
Kontaminatioun vun der Siliziumoberfläche duerch héichintensivt Liicht | Keen | ||||
Verpackung | Multi-Wafer Kassett oder Eenzelwafer Behälter | ||||
Notizen: | |||||
1 D'Defektlimitte gëllen fir déi ganz Waferuewerfläch ausser fir de Randausschlussberäich. 2D'Kratzer sollten nëmmen op der Si-Gesiicht iwwerpréift ginn. 3 D'Dislokatiounsdaten stamen nëmme vu KOH-geätzten Waferen. |
XKH wäert weiderhin an d'Fuerschung an d'Entwécklung investéieren, fir den Duerchbroch vun 12-Zoll-Siliciumcarbid-Substrater a grousser Gréisst, mat wéineg Defekter an héijer Konsistenz ze fërderen, während XKH seng Uwendungen an nei opkomende Beräicher wéi Konsumentelektronik (wéi z. B. Energiemoduler fir AR/VR-Geräter) a Quantecomputer exploréiert. Duerch d'Reduktioun vun de Käschten an d'Erhéijung vun der Kapazitéit wäert XKH der Hallefleederindustrie Wuelstand bréngen.
Detailéiert Diagramm


