12 Zoll SiC-Substrat N-Typ Grouss Gréisst Héichleistungs-RF-Applikatiounen
Technesch Parameteren
Spezifikatioun vum 12 Zoll Siliziumkarbid (SiC) Substrat | |||||
Grad | ZeroMPD Produktioun Grad (Z Grad) | Standardproduktioun Grad (P Grad) | Dummy-Klass (Klass D) | ||
Duerchmiesser | 300 mm~1305 mm | ||||
Déckt | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | |||
Wafer Orientéierung | Off-Achs: 4,0° Richtung <1120 >±0,5° fir 4H-N, Op-Achs: <0001>±0,5° fir 4H-SI | ||||
Mikropäifdicht | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Widderstandsfäegkeet | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Primär flaach Orientéierung | {10-10} ±5,0° | ||||
Primär flaach Längt | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Kerb | ||||
Randausgrenzung | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Béi/Verzerrung | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35□ μm/≤55□ μm | |||
Rauheet | Polnesch Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Kantrëss duerch héichintensivt Liicht Sechseckplacken duerch héichintensivt Liicht Polytypberäicher duerch héichintensivt Liicht Visuell Kuelestoffinklusiounen Siliziumoberfläche kraazt duerch héichintensivt Liicht | Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen | Kumulativ Längt ≤ 20 mm, eenzel Längt ≤2 mm Kumulativ Fläch ≤0,1% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Längt ≤1 × Waferduerchmiesser | |||
Kantchips duerch héichintensivt Liicht | Keen erlaabt ≥0,2 mm Breet an Déift | 7 erlaabt, ≤1 mm all | |||
(TSD) Verrécklung vun der Gewindeschraube | ≤500 cm-2 | N/A | |||
(BPD) Basisplanverrécklung | ≤1000 cm⁻² | N/A | |||
Kontaminatioun vun der Siliziumoberfläche duerch héichintensivt Liicht | Keen | ||||
Verpackung | Multi-Wafer Kassett oder Eenzelwafer Behälter | ||||
Notizen: | |||||
1 D'Defektlimitte gëllen fir déi ganz Waferuewerfläch ausser fir de Randausschlussberäich. 2D'Kratzer sollten nëmmen op der Si-Gesiicht iwwerpréift ginn. 3 D'Dislokatiounsdaten stamen nëmme vu KOH-geätzten Waferen. |
Schlësselmerkmale
1. Virdeel vun der grousser Gréisst: Den 12-Zoll SiC-Substrat (12-Zoll Siliziumcarbid-Substrat) bitt eng méi grouss Fläch vun enger eenzeger Wafer, wouduerch méi Chips pro Wafer produzéiert kënne ginn, wouduerch d'Produktiounskäschte reduzéiert an den Ertrag erhéicht gëtt.
2. Héichleistungsmaterial: Déi héich Temperaturbeständegkeet an déi héich Duerchbrochfeldstäerkt vu Siliziumkarbid maachen den 12-Zoll-Substrat ideal fir Héichspannungs- an Héichfrequenzapplikatiounen, wéi z. B. EV-Inverter a Schnellladesystemer.
3. Veraarbechtungskompatibilitéit: Trotz der héijer Häert an den Veraarbechtungsproblemer vum SiC erreecht den 12-Zoll SiC-Substrat manner Uewerflächendefekter duerch optiméiert Schnëtt- a Poliertechniken, wat d'Ertragsausbezuelung vum Apparat verbessert.
4. Iwwerleeën Wärmemanagement: Mat enger besserer Wärmeleitfäegkeet wéi Siliziumbaséiert Materialien, adresséiert den 12-Zoll-Substrat effektiv d'Wärmeverloscht an Héichleistungsgeräter a verlängert d'Liewensdauer vun den Ausrüstungen.
Haaptapplikatiounen
1. Elektroautoen: Den 12-Zoll SiC-Substrat (12-Zoll Siliziumcarbid-Substrat) ass e Kärkomponent vun elektreschen Undriffssystemer vun der nächster Generatioun, wat héicheffizient Inverter erméiglecht, déi d'Reechwäit erhéijen an d'Ladezäit reduzéieren.
2. 5G Basisstatiounen: Grouss SiC-Substrater ënnerstëtzen héichfrequent RF-Geräter a erfëllen domat d'Ufuerderunge vu 5G Basisstatiounen u grousser Leeschtung a gerénger Verloschter.
3. Industriell Stroumversuergung: A Solarinverter a Smart Grids kann den 12-Zoll-Substrat méi héije Spannungen aushalen, während den Energieverloscht miniméiert gëtt.
4. Konsumentelektronik: Zukünfteg Schnellladegeräter a Stroumversuergunge fir Datenzentre kéinten 12-Zoll SiC-Substrater benotzen, fir eng kompakt Gréisst an eng méi héich Effizienz z'erreechen.
D'Servicer vun XKH
Mir spezialiséieren eis op personaliséiert Veraarbechtungsservicer fir 12-Zoll SiC-Substrater (12-Zoll Siliziumkarbid-Substrater), dorënner:
1. Wierfelen & Poléieren: Substratveraarbechtung mat gerénger Schuedqualitéit a héijer Flaachheet, déi op d'Ufuerderunge vum Client zougeschnidden ass, fir eng stabil Leeschtung vum Apparat ze garantéieren.
2. Ënnerstëtzung fir epitaktesch Wuesstem: Héichqualitativ epitaktesch Wafer-Servicer fir d'Chipproduktioun ze beschleunegen.
3. Prototyping a klenge Chargen: Ënnerstëtzt d'Validatioun vun der Fuerschungs- an Entwécklungsinstituter an Entreprisen, verkierzt d'Entwécklungszyklen.
4. Technesch Berodung: Komplett Léisunge vun der Materialauswiel bis zur Prozessoptimiséierung, déi de Clienten hëllefen, d'Erausfuerderunge vun der SiC-Veraarbechtung ze bewältegen.
Egal ob et ëm Masseproduktioun oder spezialiséiert Personnalisatioun geet, eis 12-Zoll SiC-Substratservicer passen sech un Är Projetbedürfnisser un a stäerken technologesch Fortschrëtter.


