12 Zoll SiC-Substrat Duerchmiesser 300 mm Déckt 750 μm 4H-N Typ kann personaliséiert ginn
Technesch Parameteren
Spezifikatioun vum 12 Zoll Siliziumkarbid (SiC) Substrat | |||||
Grad | ZeroMPD Produktioun Grad (Z Grad) | Standardproduktioun Grad (P Grad) | Dummy-Klass (Klass D) | ||
Duerchmiesser | 300 mm~1305 mm | ||||
Déckt | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm±25μm | |||
Wafer Orientéierung | Off-Achs: 4,0° Richtung <1120 >±0,5° fir 4H-N, Op-Achs: <0001>±0,5° fir 4H-SI | ||||
Mikropäifdicht | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Widderstandsfäegkeet | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Primär flaach Orientéierung | {10-10} ±5,0° | ||||
Primär flaach Längt | 4H-N | N/A | |||
4H-SI | Kerb | ||||
Randausgrenzung | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Béi/Verzerrung | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35□ μm/≤55□ μm | |||
Rauheet | Polnesch Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Kantrëss duerch héichintensivt Liicht Sechseckplacken duerch héichintensivt Liicht Polytypberäicher duerch héichintensivt Liicht Visuell Kuelestoffinklusiounen Siliziumoberfläche kraazt duerch héichintensivt Liicht | Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen Kumulativ Fläch ≤0,05% Keen | Kumulativ Längt ≤ 20 mm, eenzel Längt ≤2 mm Kumulativ Fläch ≤0,1% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Fläch ≤3% Kumulativ Längt ≤1 × Waferduerchmiesser | |||
Kantchips duerch héichintensivt Liicht | Keen erlaabt ≥0,2 mm Breet an Déift | 7 erlaabt, ≤1 mm all | |||
(TSD) Verrécklung vun der Gewindeschraube | ≤500 cm-2 | N/A | |||
(BPD) Basisplanverrécklung | ≤1000 cm⁻² | N/A | |||
Kontaminatioun vun der Siliziumoberfläche duerch héichintensivt Liicht | Keen | ||||
Verpackung | Multi-Wafer Kassett oder Eenzelwafer Behälter | ||||
Notizen: | |||||
1 D'Defektlimitte gëllen fir déi ganz Waferuewerfläch ausser fir de Randausschlussberäich. 2D'Kratzer sollten nëmmen op der Si-Gesiicht iwwerpréift ginn. 3 D'Dislokatiounsdaten stamen nëmme vu KOH-geätzten Waferen. |
Schlësselmerkmale
1. Produktiounskapazitéit a Käschtevirdeeler: D'Masseproduktioun vun 12-Zoll SiC-Substrater (12-Zoll Siliziumkarbid-Substrater) markéiert eng nei Ära an der Hallefleederproduktioun. D'Zuel vun de Chips, déi aus engem eenzege Wafer kritt kënne ginn, erreecht dat 2,25-mol sou vill wéi vun 8-Zoll-Substrater, wat direkt zu engem Sprong an der Produktiounseffizienz féiert. Clientsfeedback weist datt d'Aféierung vun 12-Zoll-Substrater hir Produktiounskäschte fir Powermoduler ëm 28% reduzéiert huet, wat e wichtege Konkurrenzvirdeel am haart ëmstriddene Maart geschaf huet.
2. Aussergewéinlech physikalesch Eegeschaften: Den 12-Zoll SiC-Substrat ierft all Virdeeler vum Siliziumkarbidmaterial - seng Wärmeleitfäegkeet ass dräimol sou héich wéi déi vu Silizium, während seng Duerchbrochfeldstäerkt zéngmol sou héich ass wéi déi vu Silizium. Dës Charakteristiken erméiglechen et Apparater, déi op 12-Zoll-Substrater baséieren, stabil an Héichtemperaturëmfeld vun iwwer 200°C ze funktionéieren, wat se besonnesch gëeegent mécht fir usprochsvoll Uwendungen, wéi z. B. Elektroautoen.
3. Technologie fir d'Uewerflächenbehandlung: Mir hunn e neie chemesch-mechanesche Polierprozess (CMP) speziell fir 12-Zoll SiC-Substrater entwéckelt, deen eng Uewerflächenflaachheet op atomarer Ebene (Ra<0,15nm) erreecht. Dësen Duerchbroch léist déi weltwäit Erausfuerderung vun der Uewerflächenbehandlung vu Siliziumcarbid-Wafer mat groussen Duerchmiesser a behënnert d'Hindernisser fir e qualitativ héichwäertegt epitaktesch Wuesstum.
4. Leeschtung vun der Thermescher Gestioun: A prakteschen Uwendungen weisen 12-Zoll SiC-Substrater bemierkenswäert Wärmeofleedungsfäegkeeten. Testdaten weisen datt ënner der selwechter Leeschtungsdicht Apparater, déi 12-Zoll-Substrater benotzen, bei Temperaturen funktionéieren, déi 40-50°C méi niddreg sinn wéi Apparater op Siliziumbasis, wat d'Liewensdauer vun der Ausrüstung däitlech verlängert.
Haaptapplikatiounen
1. Neit Energiefahrzeugökosystem: Den 12-Zoll SiC-Substrat (12-Zoll Siliziumkarbid-Substrat) revolutionéiert d'Architektur vun den Undriffssystemer fir Elektroautoen. Vun Onboard-Ladegeräter (OBC) bis hin zu Haaptundriffswandler a Batteriemanagementsystemer erhéijen d'Effizienzverbesserungen, déi duerch 12-Zoll-Substrater mat sech bruecht ginn, d'Reechwäit vum Gefier ëm 5-8%. Rapporte vun engem féierende Autoshersteller weisen datt d'Benotzung vun eise 12-Zoll-Substrater den Energieverloscht a sengem Schnellladesystem ëm beandrockend 62% reduzéiert huet.
2. Secteur vun den erneierbaren Energien: A Photovoltaikkraaftwierker hunn Inverter op Basis vun 12-Zoll SiC-Substrater net nëmme méi kleng Formfaktoren, mä erreechen och eng Konversiounseffizienz vu méi wéi 99%. Besonnesch a Szenarie vun der dezentraler Generatioun féiert dës héich Effizienz zu jäerleche Spuermoossname vun Honnertdausende vu Yuan u Stroumverloschter fir d'Betreiber.
3. Industriell Automatiséierung: Frequenzwandler, déi 12-Zoll-Substrater benotzen, weisen exzellent Leeschtung an Industrieroboter, CNC-Maschinnen an aner Ausrüstung. Hir Héichfrequenz-Schaltcharakteristiken verbesseren d'Motorantwortgeschwindegkeet ëm 30% a reduzéieren gläichzäiteg d'elektromagnetesch Stéierungen op en Drëttel vun konventionelle Léisungen.
4. Innovatioun an der Konsumentelektronik: Schnellladetechnologien vun der nächster Generatioun fir Smartphones benotzen 12-Zoll SiC-Substrater. Et gëtt erwaart, datt Schnellladeprodukter iwwer 65W voll op Siliziumcarbidléisunge wiesselen, woubäi 12-Zoll-Substrater sech als déi optimal Käschte-Leeschtungs-Wiel erausstellen.
XKH personaliséiert Servicer fir 12-Zoll SiC Substrat
Fir spezifesch Ufuerderunge fir 12-Zoll SiC-Substrater (12-Zoll Siliziumkarbid-Substrater) ze erfëllen, bitt XKH ëmfangräiche Serviceënnerstëtzung:
1. Déckt Personnalisatioun:
Mir bidden 12-Zoll-Substrater a verschiddenen Décktspezifikatiounen, dorënner 725μm, fir verschidden Uwendungsbedürfnisser gerecht ze ginn.
2. Dopingkonzentratioun:
Eis Produktioun ënnerstëtzt verschidden Zorte vu Konduktivitéit, dorënner n-Typ- a p-Typ-Substrater, mat enger präziser Widderstandskontroll am Beräich vun 0,01-0,02Ω·cm.
3. Testdéngschter:
Mat komplette Wafer-Niveau-Testausrüstung liwwere mir komplett Inspektiounsberichter.
XKH versteet, datt all Client eenzegaarteg Ufuerderunge fir 12-Zoll SiC-Substrater huet. Mir bidden dofir flexibel Geschäftsmodeller fir Kooperatioun un, fir déi kompetitivst Léisungen ze bidden, egal ob fir:
· Fuerschungs- a Entwécklungsbeispiller
· Akeef a Volumenproduktioun
Eis personaliséiert Servicer suergen dofir, datt mir Är spezifesch technesch a Produktiounsbedürfnisser fir 12-Zoll SiC-Substrater erfëllen kënnen.


