Titel: Wat ass FOUP an der Chipproduktioun?

Inhaltsverzeechnes

1. Iwwersiicht a Kärfunktioune vum FOUP

2. Struktur an Designmerkmale vum FOUP

3. Klassifikatioun an Uwendungsrichtlinne vum FOUP

4. Operatiounen a Wichtegkeet vu FOUP an der Hallefleiterproduktioun

5. Technesch Erausfuerderungen an zukünfteg Entwécklungstrends

6. XKH seng personaliséiert Léisungen a Service Support

Am Prozess vun der Hallefleederherstellung ass de Front Opening Unified Pod (FOUP) e wichtege Behälter, deen zum Schutz, Transport a Lagerung vu Wafere benotzt gëtt. Säin Interieur kann 25 Stéck 300 mm Wafere ophuelen, an seng Haaptkomponenten enthalen e Behälter mat Frontöffnung an en eegenen Dierrahmen fir opzemaachen an zouzemaachen. De FOUP ass en Kärträger am automatiséierten Transportsystem a 12 Zoll Waferfabriken. E gëtt typescherweis an engem zouenen Zoustand transportéiert an geet nëmmen op, wann e an den Ladeport vum Apparat gedréckt gëtt, sou datt d'Wafere an den Lade-/Entluedport vum Apparat transferéiert kënne ginn.

Den Design vum FOUP ass un d'Ufuerderunge vum Mikroëmfeld ugepasst. En huet Schlitzer um Réck fir d'Asetzen vu Waferen, an den Deckel ass speziell fir d'Klammer vum Öffner entwéckelt ginn. Wafer-Handling-Roboter funktionéieren an enger Klass 1 propperer Loftëmfeld, wat garantéiert, datt d'Waferen beim Transport net kontaminéiert ginn. Ausserdeem gëtt de FOUP iwwer en automatiséiert Materialhandhabungssystem (AMHS) tëscht Prozessinstrumenter beweegt. Modern Waferfabriken benotze meeschtens Overhead-Schinnesystemer fir den Transport, während e puer méi al Fabriken eventuell buedemgestëtzt automatiséiert gefouert Gefierer (AGVs) benotze kënnen.

De FOUP erméiglecht net nëmmen en automatiséierten Wafertransfer, mä déngt och als Lagerfunktioun. Wéinst de ville Produktiounsschrëtt kann et Méint daueren, bis Waferen de ganze Prozess ofschléissen. Kombinéiert mat héije monatleche Produktiounsvolumen bedeit dat, datt Zéngdausende vu Waferen an enger Fabréck permanent ënnerwee sinn oder zu all Moment temporär gelagert ginn. Wärend der Lagerung ginn d'FOUPen periodesch mat Stéckstoff gespullt, fir ze verhënneren, datt Kontaminanten a Kontakt mat de Wafere kommen, wat e propperen a verlässleche Produktiounsprozess garantéiert.

1. Funktiounen a Wichtegkeet vum FOUP

Déi zentral Funktioun vum FOUP ass et, Wafere virun externen Schocken a Kontaminatioun ze schützen, besonnesch andeems d'Auswierkunge vum Ausbeut beim Transfert vermeit ginn. Et verhënnert effektiv d'Fiichtegkeet duerch Methoden ewéi Gasreinigung a Lokal Atmosphärkontroll (LAC), wat garantéiert, datt d'Wafere wärend dem nächste Fabrikatiounsschratt an engem sécheren Zoustand bleiwen. Säin versiegelt a kontrolléiert System erlaabt nëmmen déi néideg Verbindungen an Elementer eranzekommen, wat déi negativ Auswierkunge vu flüchtege organesche Verbindungen (VOCs), Sauerstoff a Fiichtegkeet op d'Wafere wesentlech reduzéiert.

Well e FOUP, deen voll mat 25 Wafere gelueden ass, bis zu 9 Kilogramm weie kann, muss säin Transport op en automatiséiert Materialhandhabungssystem (AMHS) baséieren. Fir dëst ze erliichteren, ass de FOUP mat verschiddene Kombinatioune vu Kopplungsplacken, Stiften a Lächer entworf an ass mat RFID-elektroneschen Tags fir einfach Identifikatioun a Klassifikatioun ausgestatt. Dës automatiséiert Handhabung erfuerdert bal keng manuell Operatioun, wat d'Feelerraten däitlech reduzéiert an d'Sécherheet a Genauegkeet vum Produktiounsprozess verbessert.

2. Struktur a Klassifikatioun vum FOUP

Déi typesch Dimensioune vun engem FOUP sinn ongeféier 420 mm Breet, 335 mm Déift an 335 mm Héicht. Seng wichtegst strukturell Komponenten enthalen: en ieweschten OHT (Champignonskopf) fir den Transport vun Overhead-Hebewierker; eng viischt Dier fir Zougang zu Wafers aus Ausrüstung; Säitegrëffer, dacks faarweg kodéiert fir Prozessberäicher mat ënnerschiddleche Kontaminatiounsniveauen z'ënnerscheeden; e Kaarteberäich fir Messagekaarten ze placéieren; an en ënneschten RFID-Tag, deen als eenzegaartegen Identifikatiounscode fir de FOUP déngt, sou datt Handwierksgeschir an Overhead-Hebewierker en erkennen kënnen. D'Basis ass och mat véier Identifikatiouns- a Positionéierungslächer fir d'Iwwereneestëmmung mat Handwierksgeschir an d'Ënnerscheedung vu Prozessberäicher ausgestatt.

Baséierend op der Notzung ginn FOUPs an dräi Typen agedeelt: PRD (fir d'Produktioun), ENG (fir Ingenieurswaferen) a MON (fir Monitorwaferen). PRD FOUPs kënne fir d'Produktioun benotzt ginn, ENG-Typen si gëeegent fir Fuerschung an Entwécklung oder Experimenter, an MON-Typen si fir d'Prozessiwwerwaachung fir Schrëtt wéi CMP an DIFF geduecht. Et ass wichteg ze bemierken, datt PRD FOUPs souwuel fir ENG- wéi och fir MON-Zwecker benotzt kënne ginn, an ENG-Typen kënne fir MON benotzt ginn, awer d'Ëmkéieroperatioun stellt Qualitéitsrisike mat sech.

No Kontaminatiounsniveau klasséiert, kënnen FOUPe opgedeelt ginn a FE FOUP (Front-End-Prozess, metallfräi), BE FOUP (Backend-Prozess, enthält Metall) an déi, déi fir spezifesch Metallprozesser spezialiséiert sinn, wéi NI FOUP, CU FOUP a CO FOUP. FOUPe fir verschidde Prozesser ënnerscheede sech typescherweis duerch d'Faarf vun de Säitegriffe oder Dierverkleedungen. FOUPe vu Front-End-Prozesser kënnen a Back-End-Prozesser benotzt ginn, awer Back-End-FOUPe däerfen ni a Front-End-Prozesser benotzt ginn, well dëst Kontaminatiounsrisike verursaache kéint.

Als Schlësselträger an der Hallefleederproduktioun garantéiert de FOUP, duerch héich Automatiséierung a strikt Kontaminatiounskontroll, d'Sécherheet a Rengheet vu Waferen während dem Produktiounsprozess, wat en zu enger onverzichtbarer Infrastruktur a modernen Waferfabriken mécht.

Conclusioun

XKH engagéiert sech fir Clienten héich personaliséiert Front-Opening Unified Pod (FOUP) Léisungen ze bidden, déi sech strikt un Är spezifesch Prozessufuerderungen an d'Spezifikatioune vun den Interfaces vun der Ausrüstung halen. Mat Hëllef vun fortgeschrattener Materialtechnologie a präziser Fabrikatiounsprozesser suerge mir dofir, datt all FOUP Produkt aussergewéinlech Loftdichtheet, Rengheet a mechanesch Stabilitéit bitt. Eis technesch Equipe huet eng déifgräifend Industrieexpertise a bitt eng ëmfaassend Liewenszyklusënnerstëtzung - vun der Auswielberodung an der struktureller Optimiséierung bis zur Reinigung an Ënnerhalt - fir eng nahtlos Integratioun an effizient Zesummenaarbecht tëscht dem FOUP an Ärem automatiséierte Materialhandhabungssystem (AMHS) souwéi Veraarbechtungsausrüstung ze garantéieren. Mir prioritéieren d'Sécherheet vu Waferen an d'Verbesserung vum Produktiounsrendement konsequent als eis Haaptziler. Duerch innovativ Produkter an ëmfaassend technesch Servicer bidden mir eng robust Garantie fir Är Hallefleederfabrikatiounsprozesser, wat schlussendlech d'Produktiounseffizienz an de Produktrendement erhéicht.