4 Zoll Héichreinheets Al2O3 99,999% Saphir-Substratwafer Dia101,6 × 0,65 mmt mat primärer flaacher Längt
Beschreiwung
Allgemeng Spezifikatioune vu 4-Zoll Saphirwafere ginn wéi follegt agefouert:
Déckt: D'Déckt vun übleche Saphirwaferen läit tëscht 0,2 mm an 2 mm, an déi spezifesch Déckt kann no de Bedierfnesser vum Client personaliséiert ginn.
Placementrand: Um Rand vum Wafer gëtt et normalerweis eng kleng Sektioun, déi "Placementrand" genannt gëtt, déi d'Waferuewerfläch an de Rand schützt a meeschtens amorph ass.
Uewerflächenvirbereedung: Gewéinlech Saphirwafere gi mechanesch geschliffen a chemesch mechanesch poléiert fir d'Uewerfläch ze glätten.
Uewerflächeneegeschafte: D'Uewerfläch vu Saphirwaferen huet normalerweis gutt optesch Eegeschaften, wéi eng niddreg Reflexiounsfäegkeet an en niddrege Breechungsindex, fir d'Leeschtung vum Apparat ze verbesseren.
Uwendungen
● Wuesstemssubstrat fir III-V an II-VI Verbindungen
● Elektronik an Optoelektronik
● IR-Applikatiounen
● Silizium op Saphir integréiert Schaltung (SOS)
● Radiofrequenzintegréiert Schaltung (RFIC)
Spezifikatioun
| Artikel | 4-Zoll C-Plane(0001) 650μm Saphirwaferen | |
| Kristallmaterialien | 99,999%, héich Rengheet, monokristallin Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Ready | |
| Uewerflächenorientéierung | C-Ebene(0001) | |
| C-Fläch Off-Wénkel zur M-Achs 0,2 +/- 0,1° | ||
| Duerchmiesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Déckt | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primär flaach Orientéierung | A-Fläch (11-20) +/- 0,2° | |
| Primär flaach Längt | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Eenzel Säit poléiert | Frontfläch | Epi-poléiert, Ra < 0,2 nm (duerch AFM) |
| (SSP) | Réckfläch | Fein gemuel, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
| Duebel Säit poléiert | Frontfläch | Epi-poléiert, Ra < 0,2 nm (duerch AFM) |
| (DSP) | Réckfläch | Epi-poléiert, Ra < 0,2 nm (duerch AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOU | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Botzen / Verpackung | Klass 100 Reinigung a Vakuumverpackung, | |
| 25 Stéck an enger Kassettenverpackung oder Eenzelstéckverpackung. | ||
Mir hunn eng laangjäreg Erfahrung an der Saphirveraarbechtungsindustrie. Souwuel um chinesesche Liwwermaart wéi och um internationale Nofromaart. Wann Dir Bedierfnesser hutt, zéckt net, eis ze kontaktéieren.
Detailéiert Diagramm
