12 Zoll Saphirwafer fir d'Héichvolumen-Hallefleiterproduktioun
Detailéiert Diagramm
Aféierung vun engem 12 Zoll Saphirwafer
De 12-Zoll-Saphir-Wafer ass entwéckelt fir der wuessender Nofro no groussflächeger, héichdurchsätzlecher Hallefleeder- an optoelektronescher Produktioun gerecht ze ginn. Well d'Architekturen vun den Apparater weider skaléieren an d'Produktiounslinne sech op méi grouss Waferformater orientéieren, bidden Saphirsubstrater mat ultragroussen Duerchmiesser kloer Virdeeler a punkto Produktivitéit, Rendementoptimiséierung a Käschtekontroll.
Eis 12-Zoll-Saphirwafer, déi aus héichreinegem Eenkristall-Al₂O₃ hiergestallt ginn, kombinéieren exzellent mechanesch Stäerkt, thermesch Stabilitéit a Uewerflächenqualitéit. Duerch optiméiert Kristallwuesstum a präzis Waferveraarbechtung liwweren dës Substrater zouverlässeg Leeschtung fir fortgeschratt LED-, GaN- a speziell Hallefleederapplikatiounen.

Materialcharakteristiken
Saphir (Eenkristall-Aluminiumoxid, Al₂O₃) ass bekannt fir seng aussergewéinlech physikalesch a chemesch Eegeschaften. 12-Zoll-Saphirwafer ierwen all d'Virdeeler vum Saphirmaterial a bidden gläichzäiteg eng vill méi grouss brauchbar Uewerfläch.
Schlësselcharakteristike vum Material sinn:
-
Extrem héich Häert a Verschleißbeständegkeet
-
Excellent thermesch Stabilitéit an héije Schmelzpunkt
-
Iwwerleeën chemesch Resistenz géint Säuren an Alkalien
-
Héich optesch Transparenz vun UV bis IR Wellelängten
-
Excellent elektresch Isolatiounseigenschaften
Dës Charakteristike maachen 12 Zoll Saphirwafere gëeegent fir haart Veraarbechtungsumfeld a fir héichtemperaturéiert Hallefleederproduktiounsprozesser.
Produktiounsprozess
D'Produktioun vun 12-Zoll-Saphirwaferen erfuerdert fortgeschratt Kristallwuesstums- an ultrapräzis Veraarbechtungstechnologien. Den typesche Fabrikatiounsprozess ëmfaasst:
-
Eenzelkristallwuesstum
Héichreine Saphirkristaller ginn mat fortgeschrattene Methoden wéi KY oder aner Kristallwuesstumstechnologien mat groussen Duerchmiesser ugebaut, wat eng eenheetlech Kristallorientéierung a geréng intern Spannung garantéiert. -
Kristallformung a Schneiden
De Saphirbarre gëtt präzis geformt a mat héichpräzisen Schnëttausrüstung a 12 Zoll Wafere geschnidden, fir Schied un der Ënnerfläch ze minimiséieren. -
Lappen a Polieren
Méistufeg Läppungs- a chemesch-mechanesch Polierprozesser (CMP) ginn ugewannt fir eng exzellent Uewerflächenrauheet, Flaachheet an Déckteuniformitéit z'erreechen. -
Botzen an Inspektioun
All 12 Zoll Saphirwafer gëtt enger grëndlecher Reinigung an enger strikter Inspektioun ënnerworf, inklusiv Uewerflächenqualitéit, TTV, Bogen-, Verformungs- an Defektanalyse.
Uwendungen
12 Zoll Saphirwafer gi wäit an fortgeschrattenen an nei opkomende Technologien benotzt, dorënner:
-
LED-Substrater mat héijer Leeschtung an héijer Hellegkeet
-
GaN-baséiert Energieversuergungsapparater an HF-Apparater
-
Halbleiter-Ausrüstungsträger an isoléierend Substrate
-
Optesch Fënsteren an optesch Komponenten mat grousser Fläch
-
Fortgeschratt Halbleiterverpackung a speziell Prozessträger
Den groussen Duerchmiesser erméiglecht en héijen Duerchgank a verbessert Käschteeffizienz an der Masseproduktioun.
Virdeeler vun 12 Zoll Saphirwaferen
-
Méi grouss brauchbar Fläch fir eng méi héich Ausgangsleistung pro Wafer
-
Verbessert Prozesskonsistenz an Uniformitéit
-
Reduzéiert Käschte pro Apparat bei der Produktioun vu grousse Volumen
-
Excellent mechanesch Stäerkt fir d'Handhabung vu grousse Gréissten
-
Personaliséierbar Spezifikatioune fir verschidden Uwendungen

Personaliséierungsoptiounen
Mir bidden flexibel Upassung fir 12 Zoll Saphirwaferen, dorënner:
-
Kristallorientéierung (C-Fläch, A-Fläch, R-Fläch, etc.)
-
Toleranz vun der Dicke an dem Duerchmiesser
-
Eensäiteg oder duebelsäiteg Polieren
-
Kantenprofil a Fasedesign
-
Ufuerderunge fir Uewerflächenrauheet a Flaachheet
| Parameter | Spezifikatioun | Notizen |
|---|---|---|
| Waferduerchmiesser | 12 Zoll (300 mm) | Standard-Wafer mat groussen Duerchmiesser |
| Material | Eenkristall-Saphir (Al₂O₃) | Héichreinheet, elektronesch/optesch Qualitéit |
| Kristall Orientéierung | C-Fläch (0001), A-Fläch (11-20), R-Fläch (1-102) | Optional Orientéierungen verfügbar |
| Déckt | 430–500 μm | Benotzerdefinéiert Déckt op Ufro verfügbar |
| Déckt Toleranz | ±10 μm | Eng enk Toleranz fir fortgeschratt Apparater |
| Total Décktvariatioun (TTV) | ≤10 μm | Garantéiert eng eenheetlech Veraarbechtung iwwer de ganze Wafer |
| Béi | ≤50 μm | Iwwer de ganze Wafer gemooss |
| Ketten | ≤50 μm | Iwwer de ganze Wafer gemooss |
| Uewerflächenfinish | Eensäiteg poléiert (SSP) / Duebelsäiteg poléiert (DSP) | Héich optesch Qualitéit vun der Uewerfläch |
| Uewerflächenrauheet (Ra) | ≤0,5 nm (poléiert) | Gläichméissegkeet op atomarer Ebene fir epitaktesch Wuesstem |
| Randprofil | Ofgerënnt Kant / Ofgerënnt Kant | Fir Ofsplitterungen beim Ëmgang ze vermeiden |
| Orientéierungsgenauegkeet | ±0,5° | Garantéiert e richtegt Wuesstum vun der epitaktischer Schicht |
| Defektdicht | <10 cm⁻² | Gemooss duerch optesch Inspektioun |
| Flaachheet | ≤2 μm / 100 mm | Garantéiert eng eenheetlech Lithographie an epitaktesch Wuesstem |
| Rengheet | Klass 100 – Klass 1000 | Kompatibel mat propperem Raum |
| Optesch Transmissioun | >85% (UV-IR) | Hängt vun der Wellelängt an der Déckt of |
FAQ iwwer 12 Zoll Saphirwaferen
Q1: Wat ass déi Standarddicke vun engem 12 Zoll Saphirwafer?
A: Déi Standarddicke läit tëscht 430 μm an 500 μm. Individuell Dicke kënnen och no de Wënsch vum Client produzéiert ginn.
Q2: Wéi eng Kristallorientéierunge si fir 12 Zoll Saphirwafer verfügbar?
A: Mir bidden Orientéierungen am C-Fläch (0001), am A-Fläch (11-20) an am R-Fläch (1-102). Aner Orientéierunge kënnen op Basis vun de spezifeschen Ufuerderunge vum Apparat personaliséiert ginn.
Q3: Wat ass déi total Dickevariatioun (TTV) vum Wafer?
A: Eis 12 Zoll Saphirwafer hunn typescherweis en TTV ≤10 μm, wat eng Uniformitéit iwwer déi ganz Waferuewerfläch fir eng héichqualitativ Fabrikatioun vun Apparater garantéiert.
Iwwer eis
XKH spezialiséiert sech op High-Tech-Entwécklung, Produktioun a Verkaf vu speziellem optesche Glas a neie Kristallmaterialien. Eis Produkter si fir optesch Elektronik, Konsumentelektronik a fir d'Militär geduecht. Mir bidden optesch Komponenten fir Saphir, Lënsenofdeckungen fir Handyen, Keramik, LT, Siliziumcarbid SIC, Quarz a Hallefleederkristallwaferen. Mat qualifizéierter Expertise a moderner Ausrüstung exceléiere mir an der Veraarbechtung vu Produkter ouni Standard, mat dem Zil, e féierend High-Tech-Entreprise fir optoelektronesch Materialien ze sinn.










